中古 USHIO UMA-802-HCV59AL6 #9128625 を販売中

USHIO UMA-802-HCV59AL6は、照明・画像処理分野で世界をリードするテクノロジー企業であるUSHIOが開発した露光装置です。強力なキセノンアークランプと高度な光学システムと高精度な制御ユニットを組み合わせ、HDおよび超高精細リソグラフィに理想的な露出ソリューションを提供します。この機械は、ファインライン印刷やコンタクトホールのリソグラフィなど、現代のリソグラフィープロセスの高精度の光学要求に応えるように設計されています。これは、ウェーハ表面に強いパルスの光を供給するデュアル波長のUV露光源で実現されます。このツールは、高速プロセス速度および高露光量フラックス下でも精度と再現性を維持しながら、高い電力と安定性で動作します。この資産は、クローズドループPC/PLC制御モデルと自動露出装置を使用して、機器の線量レベルを迅速かつ正確に制御します。露出システムは、直感的な画像処理ソフトウェアパッケージと組み合わされており、瞬時の分析、プロセスの傾向の分析、プロセスのトラブルシューティングを行うことができます。このソフトウェアは、複雑なグラフィックルックアップ操作を実行することができ、プロセス結果のリアルタイム監視を提供します。また、UMA-802-HCV59AL6は、高エネルギー光の露出から最大限の保護のために設計されています。アークランプから発生する熱を排除する高度な空冷装置を採用しており、光学部品はUV透明な材料で構成されています。ツールの高度な配置と精度により、最高品質の露出を確実に生成します。USHIO UMA-802-HCV59AL6は、高出力、高精度、容易な統合により、リソグラフィープロセスに信頼性の高い統合ソリューションを提供します。