中古 USHIO UMA-802-H600NP #9128577 を販売中

USHIO UMA-802-H600NPは、フォトリソグラフィープロセス用に設計された露光装置です。スループットの向上と欠陥の最小化が可能な信頼性の高いシステムです。深紫外線（DUV） 180nmリソグラフィと露光プロセスを利用して、基板上にパターンを生成および転送します。このユニットは、最大690x580mmの大型基板のスキャンを可能にする大型スキャンステージを備えています。UMA-802-H600NPは、微細加工技術の広い範囲で高品質、豊富な機能と複雑なパターンを生成することができます。このマシンには直光発光ランプが装備されており、さまざまなレンズ構成とフィールドエネルギーを備えているため、ユーザーは最も正確な結果を達成することができます。このマシンは、レーザーインターフェースマトリックスアライメントマーカーを使用して、パターン転送プロセスで比類のないレベルの精度を提供します。レーザーインターフェースマトリックスアライメントマーカーは、高精度エンコーダと長期露光モニタを組み合わせて使用し、作成されたピースが仕様内であることを確認します。さらに、USHIO UMA-802-H600NPには、静圧ツールと特許取得済みの4点式マウントアセットが装備されており、ユーザーは時間の経過とともに均一で正確な露出を達成することができます。このようにして、このモデルは、フォトマスク製造における顧客のニーズが完全に満たされていることを保証します。また、露光装置には自動往復ウェハローディングシステムが搭載されており、生産性が向上しています。さらに、UMA-802-H600NPは8インチのフラットパネルモニターと、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えたソフトウェアで設計されており、ユニットを簡単かつ簡単に操作できます。このマシンはまた、最適化されたユーザーエクスペリエンスと柔軟な動作条件を提供するために、さまざまなカスタマイズ可能なユーザー設定を提供します。さらに、独自に設計された電源により、消費電力の変動の可能性が高い環境でも信頼性の高い動作を保証します。USHIO UMA-802-H600NPは、さまざまなフォトリソグラフィーアプリケーションの信頼性の高い操作と一貫した結果をユーザーに提供する最先端の露出ツールです。高度な技術の組み合わせにより、幅広い微細加工技術で精密で複雑なパターンを生成することができます。