中古 USHIO UMA-2003 #9397449 を販売中
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ID: 9397449
ウェーハサイズ: 12"
UV Cure system, 12"
Process: 6500-35 Gate resist cure
Basic system: UMA-2003-H120F UVC
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Wafer:
Semi wafer M28: 775, ±25 µm
Wafer type: Notched
TDK TAS-300 Carrier
Interface: (2) FOUP
With semi compliant MENV and FIMS assemblies
Carrier ID: (2) Bar codes
Display with EMO: Front and back
(4) Front side lamp power supplies
Interlocks: Power supply unit and mini-environment with panel
Lamp house
Cable length: 15 meter
Signal tower
HP CL Plate with vacuum
Detection sensor: Port 1 and 2
Lamp power supply
Chiller
Robot controller
Exhaust: 6m, 3/min
Lamp cooling: 20m, 3/min
(3) Lamp exhausts: 7m, 3/min
Water supply:
Chiller:
Temperature: 25°C
Flow: 60 L/Min
Pressure: 1 Mpa
Main unit:
Temperature: 10°C - 25°C
Flow: 60 L/Min
Pressure: 0.5 - 0.6 Mpa
Gas:
Gas name / Flow rate / Pressure
CDA / 5.4 - 280 / 0.5 - 0.6 Mpa
N2 / 10 - 50 / 0.5 - 0.6 Mpa
Vacuum / 80, 40L/min / -
Chiller power supply: 200 V, ±10 V, 50/60 Hz, 33 A, 3-Phase
Power supply: 200 V, ±10 V, 50/60 Hz, 175 A, 3-Phase.
USHIO UMA-2003は、幅広いジェットおよび配置材料用に設計された自動露出装置です。このシステムは、エレクトロニクス業界で広く使用されており、ガラス、金属、プラスチックなどの表面に素早く正確にジェットおよび配置材料を配置することができます。USHIO UMA 2003は信頼性の高いユニットで、高品質な出力を提供します。露出機の最大紫外線露光領域は800 x 800 mmで、最大露出領域は200 x 200 mmの異なるパワーヘッドを備えています。露出ツールは、個々の材料の露出ニーズを満たすために容易に調整することができます。この露出資産は、均一で一貫した露出を確保するために石英露出ランプを利用しています。プログラマブルコントローラは、露出時間、エネルギーレベル、強度などの露出パラメータを正確に制御します。これは、材料が露出プロセスを通じてエネルギーの正しい線量にさらされていることを確認するために行われます。コントロールユニットはまた、最適な結果を確実にするために正確にタイミングを合わせたシャットオフ機能を備えています。UMA-2003は安全な動作環境を確保するために、多くの安全機能を備えています。これらには、潜在的な暴露リスクをオペレータに警告するための安全インターロック、安全スイッチ、警告モデルが含まれます。機器はまた、効率的な操作とメンテナンスを確保するためのツールやアクセサリーのフルセットが付属しています。付属品は管の処理据え付け品、露出強度のモニター、ランプおよび露出制御システムを含んでいます。これには、露光時間に達したときにユニットをシャットオフするための24時間クロックと安全スイッチが内蔵されています。機械はまた、オペレータと技術者がツールとその機能に精通していることを確認するためのトレーニングとテクニカルサポートが付属しています。これにより、資産が安全かつ効率的に運用され、最適な結果が得られることが保証されます。UMA 2003は、さまざまな露光アプリケーションのニーズに対応する、安全で信頼性の高い高精度ソリューションを提供します。USHIO UMA-2003は、効率的かつ正確な操作により、エレクトロニクス業界やジェットや配置材料にさらされた個人にとって信頼できる人気のあるソリューションです。
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