中古 USHIO UFX-2259B-AMB01 #9372133 を販売中
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ID: 9372133
ヴィンテージ: 2009
Exposure system, parts machine
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
CCD Has been removed
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate missing
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit ), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display is non-functional
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (3) Balance air cushions
Static elimination: Ion gun
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01は光学リソグラフィの適用のために設計されている高度の露出装置です。このシステムは、高精度で安定性の高い露光プロセスを提供し、印刷された機能の正確性を確保するために重要です。それは正確に印刷要素の形、サイズ、深さおよび他の微細構造の特徴を制御することができます。このユニットには、さまざまなプロセスや材料に適応するためのさまざまなレンズと開口部が付属しています。ウェーハを動かす高精度ステージを搭載し、印刷された機能を正確に配置します。露出したウェーハを機械から処理プラットフォームに移し、さらなる処理を行います。UFX-2259B-AMB01により、付属のソフトウェアパッケージを介して露出プロセスを正確に制御できます。このソフトウェアは、露光時間と電力を管理するだけでなく、フォーカスや波長などのさまざまなパラメータを制御することができます。また、露出プロセス中の温度、湿度、気流を監視することもできます。USHIO UFX-2259B-AMB01には、露光パラメータと露光チャンバー内の一定の温度の一貫した精度を提供する高度なコンピュータデジタル信号プロセッサ（C-DSP）もあります。高度なプロセッサは診断機能も提供し、ツールのパフォーマンスを遠隔監視できます。このアセットは、露出パラメータを正確に校正してプロセス精度を保証することができます。また、ウェーハフィーチャー形状を評価して、印刷プロセスの潜在的な問題を迅速に特定することもできます。UFX-2259B-AMB01は、レポートや分析に使用できる詳細な露出ログデータをユーザーに提供します。このモデルには、さまざまなパラメータを監視し、誤ったプロセス操作を防止するための多くの安全機能が装備されています。これらには、ハロゲン電球ガードとウェーハ周辺チャック用の帯電防止接地が含まれます。露光装置には、極端なシナリオで最適な露光性能を維持するためのショックアブソーバーシステムもあります。全体として、USHIO UFX-2259B-AMB01は光学リソグラフィ用途向けに設計された高度な露光ユニットです。印刷された要素の形状、サイズ、深さなどの微細構造を正確に制御することができ、レポートや分析のための詳細な露出ログデータをユーザーに提供することができます。このマシンはまた、最適なパフォーマンスを確保するために、多数の安全性とパフォーマンス機能を提供しています。
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