中古 USHIO UFX-2259B-AMB01 #9288973 を販売中
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ID: 9288973
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 2009
Exposure systems, 5"
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit ), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1017B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1018B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
USHIO Shutter control, P/N: PB-1040B
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (4) Balance air cushions
ULVAC DA-60S Vaccum pump
Static elimination: Ion gun
Air conditioner
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01は、さまざまな試験および監視アプリケーション向けに設計されたオールインワンの外付けユニットコントローラ露出装置です。このシステムは、露出シナリオの広い範囲を提供するために、高度なシングルおよびマルチチャネルコントローラを搭載しています。ユニットはセットアップと使用が簡単になるように設計されており、印象的な数の機能とオプションを提供しています。露出装置には、コントロールユニット、イーサネット接続、周囲光源、イメージングツールが含まれています。UFX-2259B-AMB01制御ユニットには、迅速な応答時間を提供するARM Cortex A9プロセッサが装備されており、ユーザーは素早くアセットを設定および構成することができます。このコントローラには、高速で正確な16ビットのアナログ・デジタル・コンバータ（ADC）と、露光モデルの動作パラメータを監視するための高精度の4方向回路が装備されています。イーサネット接続により、ノートパソコンやコンピュータなどの外部デバイスを遠隔操作用の機器に接続できます。このシステムには、連続的または時間的な露出に使用できる周囲光源も含まれています。この光源は、均一な露出やスポットタイプの露出など、さまざまな露出シナリオを提供するために調整することができます。また、CCDセンサーやレンズを搭載したイメージングマシンを搭載し、露出試験やモニタリングプロセスで試験片の画像を撮影します。このツールには画像処理ユニットも装備されており、画像を分析し、そこから情報を抽出するために使用することができます。USHIO UFX-2259B-AMB01はユーザーフレンドリーに設計されており、さまざまなテストや監視アプリケーションの資産を構成するための幅広いユーザーオプションを提供しています。生体試料、フォトマスク、集積回路基板など幅広い材料の精密試験に使用できます。また、露出と監視プロセスを自動化し、再現可能なテストと分析を可能にする柔軟なプログラミングオプションも提供しています。また、タイムラプス記録、光パルス検出、高速信号解析など、さまざまな検出モードを備えています。この露出システムは、材料を監視およびテストする強力で信頼性の高い手段を提供します。
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