中古 USHIO SP-9 #9263651 を販売中

USHIO SP-9は、フォトリソグラフィのアプリケーションに最適な性能と比類のない精度を提供するために設計された高度な露光装置です。精密な位置決めのための高精度XYモーションプラットフォーム、特許取得済みのリニアダイレクトドライブモーターユニット、フラットフィールドイメージング用の複数の露出領域をステッチする独自のステッチアルゴリズムなど、高度な機能を備えています。さらに、SP-9は、露出面積のサイズと露出時間を制御するために機械的シャッターと組み合わせてパルスUVレーザー光を使用するユニークなスリットスキャンアセンブリで設計されています。XYテーブル上のモータと同期して移動する高速シャッターを搭載し、露出面積と露出時間を正確に制御します。このツールには校正アセットが内蔵されており、ユーザーはモデル設定をすばやく校正および調整して最適なパフォーマンスと信頼性を得ることができます。また、USHIO SP-9には、優れたイメージング結果を提供する高精度の光学パッケージが搭載されています。光学パッケージには、従来のレンズと、優れた光学品質を提供する楕円鏡の両方が含まれています。光学パッケージは、イメージング機器のアライメントと最適化を自動化するソフトウェアと統合されています。さらに、SP-9は非常に柔軟でカスタマイズ可能であるように設計されています。システムは、お客様の特定のニーズを満たすために、さまざまなオプションのツールとアクセサリで構成することができます。これには、ユニットの設定と機能をさらにカスタマイズするための幅広いツールとオプションを備えたグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれます。USHIO SP-9は、高精度で高性能なリソグラフィ用途に最適なパワフルで汎用性の高い機器です。その高度な機能、高精度の光学系、および洗練された校正機は、SP-9に優れた精度と再現性を要求するリソグラフィ用途に最適です。