中古 USHIO PE-250R2-SEPE #9280625 を販売中

USHIO PE-250R2-SEPEは、超高精度半導体加工のために設計されたハイエンド露光システムのシリーズです。レーザービームを使用して、極めて精度が高く、比類のない再現性を備えたウェーハにパターンを投影し、高密度で均一なウェーハの生産を可能にします。150mmウェーハステージと、ウェーハの位置と角度を正確に制御する6軸モーションメカニズムを搭載しています。高精度シャッターシステム、5軸電動ステージ、およびインテリジェントソフトウェアにより、正確さだけでなく、ユニットの使用可能な寿命も延長できます。このマシンは、ウェーハの所定の焦点深度に基づいて自動的に焦点位置を調整する特別なフォーカスモードを備えており、高い精度で高い透明度のパターンがウェーハにビームされていることを確認します。このツールは、統合されたオートフォーカス資産、フォーカス補正およびオートレベリング、および自動ウェーハ検出などのハイテク機能を誇っています。これは、さまざまなプロセスのための広範なパターンライブラリを可能にする組み合わせスキャンプロセスで動作します。PE-250R2-SEPEは、超高精度、再現性、信頼性を提供し、幅広いデバイスとプロセスに対応する単一のデバイスプラットフォームを提供します。その比類のない精度は、精度と再現性が品質保証の礎石である半導体業界で重要な正確なパターン配置と露出を可能にします。USHIO PE-250R2-SEPEは、通常、ハイエンドチップの製造に使用されるSOI、 SiGe、 HV-SiC、 SiC、およびAlN基板などの難加工材料と互換性があります。コンパクトな設計と、ビームシャッター、ドアセンサー、インターロックなどの高度な安全対策を備え、安全で効率的な運転を可能にします。要するに、PE-250R2-SEPEは半導体ウェーハの超精密処理のために設計された最先端の露出装置です。それはウェーハが正確にパターン化され、比類のない正確さと不耐性で露出することを可能にします。USHIO PE-250R2-SEPEは、難加工材との互換性があり、効率的かつ安全な動作を確保するための高度な安全対策が付属しています。