中古 USHIO PE-250DMV2 #293629206 を販売中

USHIO PE-250DMV2は急速な熱処理（RTP）およびアニーリングの適用にとって理想的な高度の露出装置です。基板やウェーハの温度制御において、高い信頼性と正確性を実現するよう設計されています。PE-250DMV2は、高精度レーザー熱センサ、0。1°Cの高熱精度、ウェーハ回転あたり0。3秒の最適スキャン速度を備えています。ユニットはより速い暖房機能で構築されており、一貫した製品品質を確保しながら生産性を向上させます。USHIO PE-250DMV2は、広範囲の電源を搭載しており、直径4インチまでの幅広いサイズのウェーハを処理することができます。また、柔軟な温度制御のために設計されており、最適化された熱流量と基板温度制御を可能にします。もう1つの特長は、温度分布の均一性を向上させる改良されたサンプルチャンバー設計です。これは、汚染のない表面を作成するために不可欠であり、アプリケーションでは均一であり、性能で反復可能です。さらに、チャンバー設計は、異なる動作条件を経るときの機械の安定性と精度を向上させることでも知られています。さらに、このツールは、急速な加熱がオンボードで構成され、急速に冷却されるため、処理時間が短くなります。また、資産全体の寿命を延ばすこともできます。PE-250DMV2の制御機能は直感的でカスタマイズ性が高く、すばやく簡単に操作できます。温度、パワーレベル、スキャンレートを簡単に設定および調整できるコントロールパラメータを備えています。また、複数のウェーハを同時に制御し、複数のワークゾーン設定を維持することが可能です。USHIO PE-250DMV2は、プロセスのパフォーマンスを最適化し、歩留まりを向上させるために設計されています。内蔵の安全機能、安全規格への準拠、ユーザーフレンドリーな設計により、RTPおよびアニーリングアプリケーションに最適です。