中古 ULTRA OPTICS Ultra RX #293816243 を販売中

ULTRA OPTICS Ultra RXは、高度なリソグラフィ用途向けに設計された露光装置です。超高解像度と再現性を提供し、高度なテクノロジーノードに対して全量処理の柔軟性を提供します。このシステムは、複数の露出ヘッドの線形配列で構成されており、アレイの全幅に対する露出線量と線量の均一性を独立して制御することができます。また、露光ヘッド全体の光の強度分布を正確に測定するための高解像度検出器を備えています。露出ヘッドは高分解能モータによって駆動され、最適なパターニング精度のサブミクロン露出制御が可能です。ウルトラRXユニットは、露出パラメータを自動化し、高レベルの機械制御を提供するコントローラユニットを備えています。コントローラは、アライメントやその他のプロセス制御ルーチン、ならびに資産の安定性を確保するための統合キャリブレーションツールを実行するようにプログラムすることができます。また、直感的なユーザーインターフェイスと診断と分析のためのツールの範囲を提供しています。このモデルは、最も複雑なパターンでも広いダイナミックレンジのイメージングを提供する高度なイメージング機器を使用しています。このイメージングシステムは、リソグラフィ用途に特化して設計されたさまざまな光学部品によってサポートされ、高コントラストの光学性能を提供します。露出装置には、露出プロセス中の精度と再現性を確保するための統合計測機もあります。このツールは、露光ビームの強度と暗さを測定し、エラー検出アセットは、露光線量の誤りやビーム位置のずれによるエラーを防ぐのに役立ちます。全体的に、ULTRA OPTICS Ultra RXは、高度なリソグラフィ用途向けに堅牢で信頼性の高いモデルを提供し、ユーザーは優れた解像度と均一性で高品質のパターンを生成することができます。