中古 TOYO ADTEC TUV-200 #9312510 を販売中

TOYO ADTEC TUV-200
製造業者
TOYO ADTEC
モデル
TUV-200
ID: 9312510
ヴィンテージ: 2015
UV Irradiator 2015 vintage.
TOYO ADTEC TUV-200は、幅広いリソグラフィのニーズに対応するために設計された先進的な露光装置です。高輝度紫外線を200〜783nmの波長で届けることができ、正確で均一な露光が可能です。このユニットには、最先端の水晶光学システムと、より高い精度と耐久性を実現するパージガス回路が装備されています。TUV-200は、正確な露出を確保するための多くの機能を備えています。例えば、レンズが常にフォーカスされていることを保証するオートフォーカス機能と、測定スポットから基板のたわみを測定し、それに応じて補正するフォーカスを調整するダイナミックフォーカス補正モードを備えています。また、TOYO ADTEC TUV-200には、一貫した再現性のある露出を確保するための多くの機能があります。このユニットには、機械から基板に出力されるエネルギー量を測定する周辺露出制御(PEC)ユニットが内蔵されており、レベルを正確に調整できます。また、バリアフィルターを備えており、周囲への直接紫外線露光の影響を最小限に抑え、露出が迅速に安定して一貫していることを保証します。安全面では、TUV-200は最も厳しい国際的な安全要件を満たすように設計されています。これは、水晶光学アセットが安定した動作温度にとどまることを保証する超大容量の加熱冷却ツールが装備されています。また、故障時に自動的にモデルをシャットオフする「緊急シャットオフスイッチ」を装備しています。TOYO ADTEC TUV-200は、リソグラフィの幅広いニーズに対応できる高性能露光装置です。高度なクォーツオプティクス、パージガス回路、精密フォーカシング機能、PECシステム、安全のためのバリアフィルター、および最適な安全のための緊急シャットオフスイッチを備えています。全体として、TUV-200は正確で反復可能な露出と安全な操作を必要とする人々のための理想的な選択です。
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