中古 TECHNOVISION UVC-408 #9249981 を販売中
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TECHNOVISION UVC-408は、幅広い光電子デバイスの製造のために設計された先進的な露光装置です。自動波長選択システムを搭載し、紫外線から赤外線まで幅広い波長で動作可能です。ユニットは、(1)紫外線ソース、(2)マスクアライナー、(3)ビームコリメータ、(4)ダイレクトマシンの4つの主要なコンポーネントで構成されています。UVソースは、250nmから400nmまでの波長範囲で高強度の連続紫外線を生成することができる高圧水銀アークランプで構成されています。この極端紫外線(EUV)放射は、光電子デバイスの製造に特に適しています。ビームコリメータは、光源放射を低分散の平行ビームに変換するために使用され、デバイスの製造に適しています。マスクアライナーがツールの主なコンポーネントです。これは2つの光学モジュールで構成されています。1つ目はフォトマスクを着用し、2つ目はマスクの光学配置に使用されます。マスクはまず、一連のマイクロメートル分解能ステージモーションを使用してウェーハ表面を踏み越えます。その後、マスクテンプレートと偶然の一致に画像を持ち込むことで、マスクがウェーハに揃えられます。この時点で、ビームコリメータは、ウェーハデバイス構造に放射を集中させるために使用されます。直接アセットは、デバイスを直接公開するために研磨ヘッドを移動するジョイスティックを持つコンピュータで構成されています。これにより、中間マスク工程が不要となり、研究開発や短納期の生産に有効なルートとなります。最後に、UVC-408は露出プロセスのプログラミングと実行のためのユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージを提供します。このパッケージには、パラメータ調整、データ管理、マシンステータス監視、およびマシン使用状況ログが含まれます。結論として、TECHNOVISION UVC-408は包括的で汎用性の高い露光モデルであり、さまざまなオプトエレクトロニクス機器を製造するための効果的なルートを提供します。シンプルで直感的なユーザーインターフェイスと、ユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージによる信頼性の高いパフォーマンスを提供します。
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