中古 TAKATORI TUV-1 #293651817 を販売中
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TAKATORI TUV-1は、露出性能と卓越した信頼性を大幅に向上させることができる高度な露光装置です。TUV-1は、薄膜技術、フォトレジストリソグラフィ、薄膜蒸着、薄膜エッチング、CMPなど、さまざまな用途に適した多目的システムです。このユニットは、最先端の露光源、高解像度ウェハステージ、および正確なサンプルホールディングマシンで構成されています。TAKATORI TUV-1露光源は、ディープUV範囲を含む、非常に均一な広い波長スペクトルを生成します。薄膜技術やフォトレジスト・リソグラフィなど、幅広い用途に欠かせない紫外線スペクトルです。また、露光源はエネルギーレベル制御ツールを備えており、露光分野全体のエネルギーレベルを正確に制御することができます。ウェハステージは、サンプルの高精度な翻訳を提供し、露光源に対してサンプルの正確なアライメントを可能にします。2インチ正方形から20インチ正方形まで、さまざまなサンプルサイズをサポートしています。ウェーハステージには、露出精度をさらに高める自動ウェーハセンタリング機能も搭載しています。サンプルホールディングアセットは、サンプルサイズが異なる場合でも高い露出精度を保証します。このモデルには、さまざまなサンプルサイズに対応するために正確に配置できる調整可能なサンプルホールディングステージが含まれています。サンプル保持ステージは、サンプルの自己中心化もサポートしており、露出フィールドの正確な配置を保証します。TUV-1には直感的なデータ収集ソフトウェアが搭載されており、データ分析と可視化のための包括的な分析ツールを提供します。このソフトウェアを使用すると、露出プログラムを自動的に作成し、露出パラメータを調整できます。また、露出フィールドを正確に測定するためのエッジ検出ツールも備えています。TAKATORI TUV-1の高い性能と信頼性により、幅広い用途に最適です。露出源の均一な広いスペクトル、ウェーハステージの精密な翻訳、およびサンプル保持装置の調節可能なサンプル保持ステージは、すべてが協力して、サンプルサイズに関係なく、幅広い用途に正確な露出を確保します。直感的なソフトウェアは、露出調査やデータ分析にTUV-1優れた選択肢となります。
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