中古 SVG Micrascan III #9212227 を販売中

SVG Micrascan IIIは、フォトマスク業界向けの最先端のデジタルイメージングおよび露光装置です。この露光システムは、現在利用可能な最先端のリソグラフィープロセスの1つを利用しています。このユニットは、生産されるマスクの解像度と全体的な精度を向上させるための非常に小さな機能の設計と生産を可能にします。Micrascan IIIは、157nm波長技術を使用して、高度なフォトリソグラフィ用途のパターニングマスクの高解像度および露出精度の特徴を露出します。この機械は32nmの最低の半分ピッチおよび単一の露出の10nmの下の最低ライン幅で特徴を作り出すことができます。SVG Micrascan IIIは、優れたイメージングと露出品質を確保するために多くの機能を備えています。このツールには、高速かつ効率的なプロジェクションレンズのアセットだけでなく、改善されたアライメントと再配置モデルが含まれており、実行と実行のパフォーマンスが向上します。この装置には高出力パルスレーザーも装備されており、最大露出出力は最小のフィーチャーサイズとクリティカルな寸法でも正確に露出することができます。Micrascan IIIシステムはまた、インテリジェントなプロセス管理と制御ソフトウェアを統合します。このソフトウェアは、ユーザーにさまざまなパラメータの可視性と制御を提供し、各ジョブの実行と正確で一貫した結果を保証します。また、微細なモニタリングからパターン配置の自動微調整まで、さまざまな表示オプションを提供する最適化されたビジュアルマシンを内蔵しています。SVG Micrascan IIIは、クリーンルーム環境での使用に適しており、非常に正確で反復可能な結果を提供します。このツールは、頑丈な産業露出アプリケーション用に設計されており、一貫した高収量の生産を実現します。Micrascan IIIは、高品質のフォトマスク生産とパターニングのニーズに最適です。