中古 SANYO / TOTTORI LPM 2006W-1 #9354054 を販売中

SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1は、広域または中野用途向けの大型プロジェクションリソグラフィー露光システムです。高解像度と高スループットを念頭に置いて設計されており、いくつかのリソグラフィープロセスに取り組むファブに適した選択肢です。SANYO LPM 2006W-1は、高度な照明を使用し、効率的な操作を可能にするさまざまな機能を備えています。超低光度光源は、正確なフォーカス獲得のために特色になり、クアッドチャネル制御プロセッサは、高い信頼性と効率的な露出アライメントを生成します。Illuminatorは、高速スループットのための高輝度ビームと、正確なフォーカス取得に必要な時間を短縮する低輝度ビームを発光することができます。TOTTORI LPM 2006W-1は、精度を向上させるために、広範囲の数値開口（NA）と波長をサポートする複数の光学系を備えています。これには、調整可能な5要素屈折、多波長、レーザースキャン、高解像度イメージングオプティクスが含まれます。さらに、100ミリ秒の電子ビームパルスと新しいデジタル電源ユニット（PSU）が搭載されており、マスクの輪郭に基づいて強度を制御することができます。ウェーハ配置の制御は、完全な6軸ポジショニング、ダイレクトドライブ、減動共振を特徴とする高精度のステージによって実現されます。6軸ステージには、マスクパターンを検出するためのサーマルイメージングカメラも組み込まれており、ウェーハハンドリングシステムとインターフェースされ、ウェーハアライメントとウェーハの自動ハンドオフを提供します。メンテナンスに関しては、LPM 2006W-1のメンテナンス方法はほとんど必要ありません。これは、先を細くされた軸受と、深刻になる前に問題を特定できるオンライン診断を含めることによって強化されます。さらに、オートクリーン機能が搭載されており、微粒子を敏感な光学系から素早く取り除くことができます。全体的に、SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1は、効率的で正確なリソグラフィ製造のステップを探しているファブに最適です。高解像度、高スループット、ユーザーフレンドリーな設計により、幅広いアプリケーションニーズに対応できます。