中古 RUDOLPH A2300 #9298650 を販売中

RUDOLPH A2300は、チップ包装用途向けに開発された先進露光装置です。特許取得済みのファイル駆動型プログラミングシステムとユニークな「ファクトリースタイル」レイアウトを備え、幅広いプロセス機能を提供します。完全に統合されたユニットは、統合されたパーソナルコンピュータ（PC）、デジタル信号プロセッサ（DSP）、および特許取得済みの光学要素設計を備えたモジュラー設計を備えています。さらに、内蔵のソフトウェアスイート、広範なデジタルI/Oポート、およびさまざまな通信オプションを備えています。このツールは、パフォーマンスと精度のためにリアルタイムの直接数値制御（DNC）ドライバを使用しています。A2300は、8 「x 8」 （203mm x 203mm）までの基板を、12ミクロンの層間距離分解能で露出することができます。基板保持は、自動クランプ資産を介して管理されます。パッチ適用、自動フォーカス、露出、デバイス転送などの露出パラメータは、すべて中央のグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）から便利に管理されます。精度と再現性を高めるために、RUDOLPH A2300は水平プレート/照明モデルを使用しています。手動アライメントの必要性は排除され、装置は自動的に縦の高さ、回転、平面性および焦点のために調節します。これにより、各レイヤーが正確かつ一貫して露出されるため、デバイスの転送に問題はありません。A2300はまた、露出/開発プロセス中に基板が動かないようにするための硬質材料処理も提供します。統合されたWebアドレス指定可能なデジタルカメラは、各レイヤーの高解像度画像をキャプチャして、リアルタイムのフィードバックを提供し、各レイヤーが正確に露出されるようにします。さらに、組み立てレチクル、接着剤付きレチクル、下層マスク付き接着剤など、多種多様な光学素子で簡単に構成することができます。最終的に、RUDOLPH A2300は高度なチップ包装アプリケーションのための強力な露出ユニットです。独自の光学素子設計とリアルタイムDNCコントローラを活用することで、露光ごとに一貫した高解像度の結果を得ることができます。このツールはまた、直感的なGUI、デジタルカメラインターフェイス、および柔軟な材料処理を備えています。そのため、A2300はチップ包装アプリケーションに理想的な選択肢です。