中古 RUDOLPH A2300 #9289379 を販売中

RUDOLPH A2300は、デジタルリソグラフィープロセス制御と印刷ソリューションを容易にするように設計された高度な露光装置です。高精度、工業用グレードのアクチュエータを駆動し、デジタルリソグラフィ印刷プロセス中にフォトレジストの信頼性と正確な露出を提供するように設計されています。強力なソフトウェアと詳細な計測およびイメージング機能により、A2300は詳細なプロセス最適化を可能にし、ユーザーはデジタルリソグラフィープリントで最高の精度を達成することができます。RUDOLPH A2300は、ディープUVからウルトラバイオレットまで、さまざまな基板に対応できる2000mm x 2000mmのフィールドを備えています。Adjustable Field Angle （AFA）技術を使用して、フィールド全体にわたって一定の強度と解像度を提供します。このシステムは、ノンリニアラギングまたは歪みのないリソグラフィーパターンを保証するために、任意のサイズ基板の1µm分解能を備えた均一な露出を保証します。また、エンドフィールドフィルター、基板プレートホルダー、マルチイメージプロジェクターなどの周辺機器も多数装備されています。A2300のユニット全体は高度に自動化されており、ユーザーの時間と労力を節約できます。これは、3D数値制御（NC）マシンを搭載しており、ズーム距離、振動速度、露出時間、レーザー光強度、統合などの露出パラメータを調整することができます。高度なソフトウェアシステムを使用することで、リソグラフィ結果の信頼性の高い動作と再現性が保証されます。RUDOLPH A2300は直感的なユーザーインターフェイスとナビゲートしやすいメニュー構造を備えています。堅牢なトラックデータ管理機能とトレースデータ管理機能が搭載されているため、必要に応じて印刷品質を追跡し、露出設定を調整できます。効率的なWYSIWYG （What You See Is What You Get）インターフェイスを使用すると、ユーザーは印刷前に作業をプレビューできます。最後に、このツールは温度制御されており、室温動作範囲は8°C〜15°Cです。特別なアクティブベンチレーションアセットは、モデルからの熱を効率的に分散させ、機械の温度を一定に保ち、お客様がより少ないエラーでirjobを実行できるようにします。その十分に文書化された安全プロトコルで、A2300は露光装置市場で強力な競争相手です。