中古 RORZE 4PRSC140-001-001 #9314645 を販売中

製造業者
RORZE
モデル
4PRSC140-001-001
ID: 9314645
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2011
Curing system, 8" Cooling stage (3) Load ports Robot (2) Ovens 2011 vintage.
RORZE 4PRSC140-001-001は、特許取得済みの光リフレクター設計の4チャンネル投影システムで構成される露光装置です。このユニットは、1,400ワットのXeランプ、2つの10W FELランプ、光出力の微調整のためのフルスペクトラムクォーツプリズム、および正確なコンピューター制御校正機を備えています。RORZE露光ツールは、基板の均一な照明と均一な光強度を提供するように設計されています。600mm×800mmの広い露出面積により、投影光の高精度を確保し、最大の効率を実現します。XeランプとFELランプの組み合わせは、精密照明のための光の広いスペクトル範囲を提供します。Xeランプは紫外線と可視光の両方を提供し、FELランプは必要な露出に高強度の出力を提供します。プロジェクター資産は、透過する光の強度を低減するために設計された石英プリズムを利用し、光の分散の形で無駄なエネルギーの量を減らします。精密なコンピューター制御校正モデルにより、露光サイクルごとに正確な露光時間と強度が保証されます。また、露光システムを使用していない場合の消費電力を低減する省電力自動スタンバイ機能を搭載しています。また、作動中の目を保護するための安全シールドや、安全シールドを開けた場合にXeランプを停止させる電子制御インターロックマシンなど、多くの安全とセキュリティ機能を備えています。さらに、このツールには、部屋の周囲温度が推奨パラメータを超えた場合にランプを遮断する環境監視資産が含まれています。露出モデルはまた、製造、安全、および環境慣行のための国際規格の基準を満たすために、厳格な安全および環境試験のセットを受けています。全体として、4PRSC140-001-001露光装置は、製造、プロトタイピング、および研究アプリケーションにとって効率的で効果的なソリューションです。XeとFELランプ、コンピューター制御の校正システム、安全機能を組み合わせることで、精密露出作業に最適です。
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