中古 PANASONIC ANUP5252L #9374982 を販売中

PANASONIC ANUP5252Lは、紫外線（UV）光源にウェーハを露出させる際に、一貫した反復可能な結果を提供する自動ウェーハ露出装置です。このシステムは、深紫外線（DUV）投影半導体フォトリソグラフィなど、さまざまなリソグラフィ処理をサポートするように設計されています。ANUP5252Lは、プラットフォームベースの自動ウェーハアライメントユニットを使用して、正確で反復可能なウェーハ露出を保証します。このアライメントユニットは干渉計を使用して、検出精度1ミクロンのウェーハの高さを測定し、ウェーハが露出ユニットと整列して最適な結果を得ることができます。このマシンは、あらかじめ設定された露出時間パラメータを可能にし、複数のウェーハを露出する際にオーバーラップや欠落した領域を防止することで、歩留まりの向上をサポートします。PANASONIC ANUP5252Lは、PANASONICのUVフォーカシングレンズを採用しており、露光工程中の均一な被写界強度を確保しています。この高度なレンズは、ウェーハ表面全体に均一な強度を作り出すように設計されており、エラーを低減し、露出プロセスを最適化します。レンズは、接触、近接、柔らかい接触リソグラフィ、スキャン、段取りリソグラフィなど、さまざまな露光に使用できます。このツールには、露出時に基板を確実に保持する真空チャックが装備されています。このチャックは、ウェーハ表面全体で+/-15％の均一性を維持する低圧真空インタフェースを使用しており、歪みを低減し、正確かつ再現性の高い露出を保証します。アセットのソフトウェアには、自動リストアおよびクロスキャリブレーション機能も搭載されており、さまざまなリソグラフィーアプリケーションにスマートで安定したプラットフォームを提供します。ANUP5252Lは産業環境の高性能そして収穫のために設計されています。このモデルの堅牢な構造は、最先端の監視および制御機能と組み合わせて、毎回最適な露出を確保するのに役立ちます。さらに、この機器には、緊急停止や光の漏れを防ぐ保護フードなど、幅広い自動安全機能が含まれています。その結果、PANASONIC ANUP5252Lは、バリエーションを最小限に抑え、ウェーハが正確なリソグラフィ仕様を満たしていることを保証する信頼性と再現性の高いエクスポージャーを提供します。