中古 ORIEL 87350 #9392773 を販売中

ORIEL 87350 Exposure Equipmentは、マスク、ウェーハ、フォトセルなどの半導体基板のフォトリソグラフィックプロセス用に設計された露光システムです。このユニットは、フォトレジストを露光するためにUV光の集光ビームを使用し、さらなるエッチングと回路製造のための望ましいパターンを確立します。87350は顕微鏡、画像アライメントマシン、ビームアライメントツールを備えています。この顕微鏡は、ウェーハとマスクパターンの整列を可能にし、各ウェーハにパターンを正確に登録することができます。イメージアライメントのアセットは、パラジウムと石英の画像をずれを恐れずに整列させるために使用されます。ビームアライメントモデルは、ウェーハに入るビームが正確な焦点にあることを確認するために使用されます。オリエル87350はまたビームを動かし、露出時間を調節するのに使用される高精度のステッピングモーターを特色にします。モーターはさまざまな速度のために置くことができ、露出時間が最もよい結果のための最適範囲内にあることを保障します。さらに、87350には、光強度を監視し、一定のビーム強度を維持する監視装置が含まれています。ORIEL 87350には、さまざまな安全機能もあります。これらには排気制御システムが含まれており、プロセスの副産物を継続的に監視することができます。また、緊急時に機器を切断する自動シャットオフユニットも備えています。このマシンは温度モニターも備えており、温度変化が異常であることを警告します。87350は、フォトリソグラフィープロセスの要求を満たすことができる強力で信頼性の高い露出ツールです。さまざまな安全機能を備えており、一貫性のある正確な露出結果を得ることができます。また、高精度ステッピングモータを搭載しており、正確な露光時間と強度設定が可能です。ORIEL 87350は、半導体基板の精密露出が必要な方に最適です。