中古 ORC EDI-8010 #9376102 を販売中

ORC EDI-8010は、主に光化学実験のために設計された露光装置です。低エネルギーレベル（90J/m2min以下）と広い波長範囲（200-800nm）のUV-VIS照射ユニットです。このシステムは、研究、開発、またはプロセス制御の目的のために、慎重に制御されたスペクトル電磁放射に基板を露出する手段を提供します。EDI-8010は一連のランプ、電源、電子タイマーおよびプロセス部屋から成っています。ランプには、窒素またはアルゴンのいずれかの非放射性ガスと混合したアンモニアのチューブを含む石英封筒が装備されています。このランプは、200〜800nmの広い放射範囲を生成しますが、比較的低い出力で発生します。電源は異なった波長まで調節可能な力を提供します。さらに、タイマーは100マイクロ秒の分解能を備えており、正確な露光時間と露光イベントの再現性を可能にします。プロセスチャンバーはORC EDI-8010の主な特徴です。それは基質がさまざまなレベルの電磁放射にさらされる封じられた環境です。EDI-8010は、均一な露出と熱管理のための安定した温度を確保するために、アクティブ冷却ユニットで設計されています。外面に黒い陽極酸化アルミニウムを使用することにより、迷光を最小限に抑えるように設計されています。これは、プロセスチャンバーに送信される光の量を制限するのに役立ちます。このユニットには、ツールが使用されていないときに閉じるように設計された安全シャッターも付属しており、資産の偶発的な活性化による露出の可能性を減らします。ORC EDI-8010は、安全性、効率性、精度の厳しい基準を満たすように設計されています。その主な目的は、制御された方法で低エネルギー電磁放射線の均一な線量を提供し、基板への曝露の影響を監視することです。このモデルは、フォトリソグラフィ、薄膜エッチング、コンタクトレンズの開発、フォトレジストの露出など、さまざまな光化学実験に適しています。さらに、それはまた医学の研究開発の適用で、特に光力学療法の分野で使用することができます。