中古 ORC DXP-3512 #9189059 を販売中

ORC DXP-3512は、光学リソグラフィーマスクを製造するために設計された露光装置です。それはユーザーに最高の性能のための優れた解像度、正確さ、およびスループットを提供します。これには12プロジェクターシステムが含まれており、最大12個のウェーハを同時にツールにロードできます。このユニットは、248nmから193nmまでのArFと248nmから157nmまでのKrFを含む選択可能なレーザータイプを備えています。これにより、マスクレプリケーションの最高解像度と忠実度が保証されます。また、12,800X12,800解像度の高解像度デジタルマイクロミラー装置（DMD）も備えています。これは被写界深度を増加させ、被曝誤差を低減するために投与量をオートフォーカスします。DXP-3512にはハイスループットインデックスマシンがあり、直径8インチのウェーハを2。5秒以内にインデックス化します。ツールの最大スキャン速度は90 "/sに達します。また、クォーツプレート、オイルスライド、インデックスプレートの使用にも対応しており、10gr/step解像度でウェーハをアセット内に正確に配置できます。このモデルには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを提供するJava Visual Machine （JVM）ソフトウェアも搭載しています。これにより、ユーザーは簡単にプログラムを編集し、出力レポートの包括的なセットを作成することができます。さらに、機器技術やコントローラが進化するにつれて、ソフトウェアは簡単に更新できます。ORC DXP-3512は、高度な安全機能も備えています。ソフトウェアベースのインターロックでウェーハや露出エラーを排除し、オペレータの過負荷やレーザーエネルギーの偶発的な暴露を防止するハードウェアベースの安全インターロックシステムが含まれています。全体として、DXP-3512は高性能マスク複製用に設計された高度な露出ユニットです。ユーザーに高解像度、スループット、精度を提供します。また、選択可能なレーザータイプ、高解像度DMD、ハイスループットインデックスマシン、使いやすいソフトウェア、高度な安全機能を備えています。これらの機能により、信頼性が高く効率的な露出ツールとなります。