中古 ORC DXP-3301 #293627311 を販売中

ORC DXP-3301は、コスト効率が高く効率的なウェーハレベルのICプロセスを可能にするように設計されたトップダウン露光装置です。7インチ解像度、5ミクロン独立解像度、0。5ミクロンのCD均一性を備えています。また、合計12の正確なパターン配置ポイントで構成されており、最大6つのチャックのオーバーラップ露出を提供することができます。DXP-3301は、ワンピースフレーム、間接光路、エアバッグを備えた長持ちするデザインで、敏感な部品を衝撃から保護します。また、複数の標準化されたコンポーネントを使用してメンテナンスを容易にし、信頼性の高いウェハハンドリングと使用部品の少ないTCO （Total Cost of Ownership）を提供します。さらに、高速スイッチアルゴリズムと高速セットアップ時間で、高解像度と高スループットの両方のニーズに対応するように柔軟に構成されています。トップダウン画像処理システムに関しては、光学制御画像（OCI）レンズが優れた焦点深度（DOF）と低い画像歪み比を提供します。DAL （Digital Adaptive Lighting）システムは、最大6。5の高いダイナミックレンジを保証し、反射型自動照明（RAI）は露出品質を向上させ、フレアを最小限に抑えます。オートメーション機能に関しては、ORC DXP-3301には完全に自動化された光学検査および登録機能が搭載されており、各ウェハを監視してアライメントと露出精度を確認できます。さらに、チャックの動き、荷重、荷降ろし速度を自動的に調整することで、露出プロセス全体を高速化するオートトランスミッションユニットを備えています。普及した肯定的で、否定的な抵抗の処理解決との統合は一貫した、信頼できる露出を提供する容量をさらに高めます。全体として、DXP-3301露光機は、コスト効率が高く、高品質なIC製造のための理想的で包括的なソリューションです。その堅牢な設計と本質的な機能により、優れたTCOが得られ、ICガラス製造全体で一貫した結果が得られます。