中古 OAI 306 #9124212 を販売中

OAI-OAI 306は完全に自動化されたコンピュータ制御の露出装置で、金属および誘電体フィルムの両方の沈着のために特に設計されています。広い面積、均一でパターン化された薄膜を作成するために利用することができます。この高度な蒸着技術には、ガス/真空混合バルブ、RFスパッタリングカソード、DCスパッタリングカソード、基板ホルダーが装備されています。バルブは、ガスの供給を正確に制御するために使用され、チャンバーに反応性ガスを導入するために使用され、分子の精密な霧化を可能にします。スパッタリング陰極は、基板表面に噴霧するイオンの強力な供給源であり、沈着を可能にします。温度は、内蔵の熱電対と正確な設定を提供する温度コントローラによって調整されます。OAI-306は、単一のスタンドアロン構成またはマルチチャンバー真空クラスタシステムでインストールおよび操作できます。デュアルパワフルなプラズマソースまたはシングルソースと互換性があり、より良いプロセスパラメータ制御を可能にします。RF電源とDC電源はそれぞれ0。1〜100ミリアンペア、350〜3000ボルトで調整可能で、蒸着速度と品質を正確に制御できます。OAI-OAI 306はフィルムの圧力および温度を精密に制御し、酸化および窒化のために適したようにし、また耐久および信頼できる酸化物の障壁を作成します。このユニットには、プロセスの完全な自動化と監視を提供するソフトウェアが含まれています。ソフトウェアは、電子機械部品を制御し、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）の助けを借りて真空機械圧力、スパッタリングレート、ガス濃度、基板温度、ヒーター電流などを監視します。OAI-306は、高度なマイクロエレクトロニクス、ハードフェイシングコーティング、耐腐食性コーティング、サーマルバリアコーティング、装飾的な仕上げなどに適しています。このツールは、費用対効果が高く、エネルギー効率が高く、環境に優しいです。