中古 OAI 2000 EdgeBead #9266654 を販売中

OAI 2000 EdgeBeadは、半導体製造業向けのQuartz基板の自動製造用に設計された最先端の露出装置です。2軸スキャン機能と精密位置決めにより、単一の基板ユニット0。030-inから、さまざまなサイズと厚さの基板を効果的かつ正確に露出することができます。1インチの総厚さの多数の基質の積み重ねまで厚い。2000 EdgeBeadは、基板の簡単な操作とアライメントを可能にする完全に自動化された真空操作システムで構築されています。このユニットは、61 「x 81」露出ベースで構成される標準ツールキット構成で展開されます。縦via面真空プレート；ビームスキャナ。そして精密なアップライト。マシン全体が12 'x 12'フットプリント内に収まるのは、標準のISOクラス7クリーンルーム内で動作するように設計されています。OAI 2000 EdgeBeadは、VMEBusテクノロジーを使用したLXI 3。0コントローラを搭載した制御ツールを搭載しています。このエネルギー効率の高いアセットにより、パターニングから基板アライメントまで、露光プロセスを完全に制御できます。コントローラはまた、マシンのパラメータとモデル構成を素早く簡単にナビゲーションするためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。製品の品質と寿命を確保するために、機器のすべてのコンポーネントは厳密にテストされ、検証されます。2000 EdgeBeadは、2ミクロンの精度と最大動作周波数60kHzの再現可能なパターンを生成する高周波、高分解能ビームスキャナを使用しています。リニアとポイントツーポイントレーザー露光の両方のために構築されたシステムには、8レンズ可変開口光学エンクロージャとヘリウム冷却ビームスキャナが装備されています。効率的なスループットとサイクル時間の短縮のために、OAI 2000 EdgeBeadには精密コンベアユニットが装備されています。このインテリジェントな機械は高速で処理している間連続的な動きの基質を動かすことができます。このツールはスタックローダーとアンローダーも備えており、基板の迅速な取り外しと交換、および正確な基板の位置決めを可能にします。全体的に見て、2000 EdgeBeadは直感的で汎用性の高い資産であり、生産出力と効率を向上させるために設計されています。OAI 2000 EdgeBeadは、多くの自動化されたプロセス、スループットの向上、およびトータルジョブ制御を提供することにより、今日の要求の厳しい半導体産業のためのクォーツ基板の正確な生産を保証します。