中古 NITTO UM 810 #9130821 を販売中

NITTO UM 810は、半導体デバイスの製造用に設計された露光装置です。UV光、電子ビーム、レーザー露光技術を組み合わせ、薄膜やリソグラフィ基板上に複雑なパターンを作成する高度なシステムです。NITTO UM810は、最小5ミクロンの複雑なパターンを生成することができます。多機能で柔軟なプラットフォームで、多様なニーズに対応できるカスタマイズ可能なソリューションを提供します。UM-810は、直感的なユーザーインターフェイスとシンプルなマシンコントロールを備えた完全自動化ユニットです。それは材料を露出するために紫外線が放出される光源の部屋を含んでいます。半導体基板上の電子ビームを電子ビームチャンバーが制御します。レーザーベースの露出（LBE）ツールは、レーザー出力を正確に配置してアライメントと露出を行います。LBEには、ファインパターニング用のレーザースキャナーも含まれています。UM 810は光を基板に集光することで高解像度のイメージングを実現する光学サブシステムを搭載しています。光学サブシステムには、光源、フィールドジェネレータ、高輝度光源、投影光学、デジタルフレームグラバー、フォーカスアセットが含まれます。半導体チップ同士を接合するサブミクロンレベルのアライメントにも使用できます。UM810は、歩留まり最適化機能により、時間の節約とコストの削減を促進する非常に正確な装置です。金属、ポリマー、ガラスなど様々な素材の基板との互換性が高い。そのLED露光源は、許容範囲内の結果の再現性を保証します。最後に、システムは容易な操作および改善可能性を提供し、露出の必要性を達成する理想的な選択をします。