中古 NIKON FX-21S #9285711 を販売中

NIKON FX-21Sは、最高精度のリソグラフィ製造を目的とした先進露光装置です。マルチゾーン対称露出ヘッドを内蔵しており、大きな基板を均一に露出することができ、露出設定と結果を記録するための自動ドキュメンテーションシステムを備えています。露光ユニットには、200Wキセノンアークランプと300W金属ハライドランプの2つのパラメトリック光源が用意されています。キセノン源は最も一貫した均一なライトを提供するのに使用され、金属のハライドランプは小さい区域により集中された強度を提供します。この光源の組み合わせにより、各ゾーンの正確な露出が得られ、フォトマスクの正確な再現が保証されます。機械の光学部品は高精度のケイ酸ガラスから成り、完全に温度および湿気受動態です。さらに、長期的な再現性と最小の熱雑音を実現するように設計されています。光学部品は、高性能の二軸トラバースプラットフォームに取り付けられ、正確で正確な露出登録と制御が可能です。露出ヘッドは、基板のアライメントと環境変数の補償のための2つのレーザーマイクロメーターと統合されています。レーザーのマイクロメーターはまたフォトレジストの非常に小さい部分の制御可能な露出のために使用されます。マイクロメーターは5つのパラメータで調整可能で、異なるプロセスのフォトレジストを正確に露出させることができます。登録精度とデータ分析のために、FX-21Sはまた、露光時間、露光面積、光源の種類と持続時間などのさまざまな設定パラメータを記録する高度な自動ドキュメンテーションツールを提供しています。すべてのデータはシステム化され、簡単に取得できる形式で保存され、さまざまな形式で出力することができます。この資産は、結果の完全なトレーサビリティを提供し、正確かつ再現可能な露出結果を保証します。さらに、NIKON FX-21Sには直感的なユーザーインターフェイスと、露出プロセスを簡単に制御できる高度なソフトウェア、および出力されたデータの読み取りと記録が提供されています。インターフェースにはいくつかの異なる言語が用意されているため、世界のさまざまな場所で使用できます。また、停電などの予期せぬ事態が発生した場合にユーザーを保護するための安全機能も内蔵しています。結論として、FX-21Sは高精度で信頼性の高い露光モデルであり、高精度のリソグラフィ製造用に設計されています。自動化された登録と校正システムを備えており、一貫性のある結果で正確な露出を保証します。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供しながら、最高の精度と安全性を提供するように設計されています。