中古 MIDAS MDA-40FA #9358497 を販売中

MIDAS MDA-40FAは、最適なウェーハエッチング性能を提供するために特別に設計された最先端の露光装置です。このシステムは、MIDAS独自のVariable Component Ratio （VCR）テクノロジーに基づいており、ユーザーは均一なエッチプロファイルと高い製造歩留まりに必要なパラメータを正確に設定できます。MDA-40FAは、高性能基板の駆動と露出の精度の向上を兼ね備えています。PDS （Plasma Deposition Unit）を内蔵しているため、専用マスクが不要となり、基板の加工を大幅に高速化できます。このマシンは、40ステーションフレーム、ユーザーフレンドリーなLCDタッチスクリーンディスプレイ、高圧（6 torr）基板環境、およびコンピュータベースの自動プロセス制御を備えています。MIDAS MDA-40FAを使用すると、パターニング、クリーニング、エッチング、堆積など、さまざまなプロセス操作を行うことができます。また、基板に単層フィルムを堆積させることもできます。さらに、このツールは、統合されたウェットクリーンモジュールと統合されたプラズマエッチングモジュールを含む複数のストックモジュールモジュールを提供します。湿式クリーンチャンバーは、自動洗浄のための低圧環境を備え、プラズマエッチングチャンバーは最大5トーラーの大気圧で動作できます。MDA-40FAは、動作中の基板パラメータの統合ビューを提供します。アセットの単一の統合されたビューは、露出時の基板回転速度、シャッタースピード、シャッターアングルなど、さまざまなパラメータの正確な制御と監視を容易にします。モデルは、特定のプロセス要件を満たすためにカスタム設定で構成することもできます。さらに、自動化された制御装置は、最大25のプロセスを保存することができ、使用されている材料についての洞察を提供します。さらに、MIDAS MDA-40FAにより、露光量を正確に制御し、ウェハエッジに沿って均一性を維持することができます。その洗練されたデザインは、手動アライメントの必要性を排除し、スループットを向上させます。さらに、基板チャンバ内の温度制御により、プロセスの精度を確保します。要するに、MDA-40FAは、均一なウェーハエッチング性能を提供するために特別に設計された高性能の露出ユニットです。その高度な技術により、ユーザーはスループットと製造歩留まりを向上させるためのさまざまなパラメータを正確に設定できます。統合された高圧環境により、動作中の基板パラメータを正確に制御できます。さらに、自動化された制御マシンは、使用されている材料の洞察を提供し、手動のアライメントとスループットの向上の必要性を排除します。