中古 LG PRI SAES5031 #9301073 を販売中

LG PRI SAES5031は、高品質のフォトレジストを製造するためにUV光を供給するために設計された最先端の露光装置です。このシステムは、最先端の社内光学系と最大2,000mm/秒のスキャン速度を組み合わせて、最大スループットと最小限のメンテナンスニーズを実現します。ユニットは、UV光源、シャッターアセンブリ、高解像度X-Yムーブメントロボットで構成されています。光源は2つの社内光学および4,800 mW/cm2の最高出力と造られます；複数のあらかじめ設定された波長と露光時間でUV光を正確に配信することができます。シャッターアセンブリはフェイルセーフ機能で設計されており、優れた性能と精度のために調整可能な間隔の長さを提供します。ムーブメントロボットは、超低摩擦軸受と高精度クローズドループ制御機を使用し、正確な安定性と位置精度を実現しています。SAES5031は最大6種類のフォトレジストを収容でき、高収量の生産と最適化に適しています。その高度なシャッター制御機能は、プログラム可能な露出カウントと組み合わされており、自動的に露出を開始、停止、繰り返し、およびフォトレジスト層を切り替える機能を提供します。また、露光プロセス全体にわたって正確な位置決めを保証するために、真空クランプを内蔵しています。安全性を高めるために、LG PRI SAES5031はフェイルセーフなレンズ保護で設計されており、危険な紫外線への暴露を防ぎます。最後に、このツールには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれており、ユーザーは露出設定を簡単に監視および調整できます。SAES5031は、応用フォトリソグラフィに理想的なツールであり、産業安全要件を犠牲にすることなく、大量生産のための信頼性の高い反復可能な性能を提供します。