中古 IPROS ECS-4011GX #9286343 を販売中

IPROS ECS-4011GXは、紫外線光源にリソグラフィックパターンウェーハを露光する目的で設計された露光装置です。このシステムは、半導体産業ツールで使用するために構築されています。信頼性が高く安定した設計と優れた感度を誇り、露出レベルを正確かつ正確に制御できます。ECS-4011GXは、最新の技術のフルレンジを備えており、オペレータに高度なリソグラフィ露光ユニットを提供し、使いやすさを最大化しています。これには、2つの光源、UV源、およびオプションのフッ素センサーが含まれており、ウェーハの両側で同じ精度で複雑なリソグラフィックパターンを露出させることができます。さらに、露光機は、ウェーハの正確な動きと位置決めを可能にし、光源に正確かつ一貫してさらされるようにする幅広い運動および変位メカニズムを備えています。このツールは、人間工学に基づいた4プレート資産で設計されており、ウェーハの取り扱いに安定したプラットフォームを提供します。4プレートモデルは冷却装置としても機能し、露出プロセス中もウェーハが涼しく保たれます。IPROS ECS-4011GXは、リソグラフィーパターンを正確かつ迅速に生成することができ、オペレータに高度な時間節約機能を提供します。このシステムには直感的で使いやすいコントロールパネルが装備されているため、オペレータは必要なパラメータを最小限に抑えてプログラムしたり調整したりすることができます。ECS-4011GXはまた紫外光源への露出を減らすために緊急時のオフボタン、放射線シールドおよび光学フィルターを含む広い安全特徴と設計されています。結論として、IPROS ECS-4011GXは信頼性と洗練されたリソグラフィー露光ユニットであり、複雑で大きなウェーハ上で迅速かつ正確なパターンを実現します。さらに、このマシンは、正確な動作、強化された安全性、および時間節約機能を保証するさまざまな機能を提供します。