中古 HAKUTO HAP 3510C #156190 を販売中

HAKUTO HAP 3510Cは、ウェハレベルの製造工程向けに設計された露出装置です。ファインピッチデバイスに必要な精度と精度を提供します。露出ヘッドは、石英マスクを含むさまざまなマスクサイズに対応しており、露出窓は中規模から大規模な生産要件に対応しています。高精度のステージムーブメントにより、正確で一貫した露出結果も保証します。HAP 3510Cは、最大8インチのサイズの石英マスクを露出することができる直接露出ユニットです。特許取得済みの露出ヘッドを使用して、ウェーハ全体を「スキャン」動作で移動させ、より高い露出均一性と露出精度を実現します。露出ヘッドは、フレアを最小限に抑え、より正確な露出分解能を実現する特別なシャッターデザインを採用しています。HAKUTO HAP 3510Cは、最大100nmのファインピッチデバイスの露出に使用できます。高度なモーションコントロールアルゴリズムにより、露出ヘッドは1時間あたり最大6000mmの速度でスムーズかつ正確に移動でき、迅速で信頼性の高い露出結果を保証します。露出装置には、高度な冷却ツールも備えており、最適な結果を得るために必要な熱環境を維持することができます。露出アセットは、お客様の自動生産要件を満たすために、さまざまな工作機械やプロセスと統合することができます。このモデルは、グラフィカルインターフェイスを備えた使いやすいコンピュータコントロールを備えており、ユーザーは操作を迅速に最適化できます。また、非常に自動化されたフォールトトレラント設計を備えており、機器のアップタイムを最大化し、信頼性の高い長期生産をサポートします。その様々な機能とは別に、HAP 3510Cはまた、安全機能の範囲を提供しています。ウェーハの防塵、ウェーハアライメントおよびミスアライメント検出、自動安全遮断システムなどがあります。さらに、このユニットはオープンアーキテクチャに基づいており、スケーラブルでカスタマイズ可能です。HAKUTO HAP 3510Cは、ウェーハレベルのプロセスに効率的な露出ソリューションを提供するオールラウンド露光機です。高精度と信頼性の高い露出結果により、ウェハレベルの加工に最適です。