中古 FUSION G03 #9196371 を販売中

FUSION G03は、半導体アライナーとステッパー用に設計された高度な露光装置です。高精度の自動焦点2Dアライメント測定システム、高精度レーザーアライメント、レチクランプを備え、優れた均一性を実現します。露出ユニットには最先端の自動レベリングマシンが装備されており、露出領域全体に迅速で正確なレベリングを提供し、優れたオーバーレイ性能を提供します。露出ツールは、最大24インチのデバイスレベルのデバイスを露出することができ、高解像度パターンジェネレータを備えており、最大21µmのパターンを可能にし、4方向の露出が可能です。このアセットは、高性能LEDフューザーを備えており、最大0.4µmのバリエーション範囲で優れた明るさとコントラストを提供し、露出バリエーションを低減することができます。また、高精度の3次元スキャナを搭載し、複数のアライナー間の正確なアライメントを確保し、高精度なアライメント断層認識やオーバーレイマッチングなど、さまざまな制御機能を備えています。さらに、装置とレチクル処理の両方を完全に自動化するように設計されています。また、バンプレチクルなどの様々なレチクルタイプと互換性があり、高解像度のレチクランプを備えています。また、走査型電子顕微鏡（SEM）、原子力顕微鏡（AFM）検査、光学検査など、計測機能を備えた高度な計測プラットフォームを備えています。計測機能は、優れた性能のために優れたパターンの均一性と再現性を確保するように設計されています。全体として、G03は高性能で高度な露出ユニットで、精密な半導体アライメントと露出のために設計されています。その特徴は、生産ラインやその他の大量の半導体製造アプリケーションに最適です。