中古 ELECTRON VISION ElectronCure 30X #9191672 を販売中

ELECTRON VISION ElectronCure 30Xは、リソグラフィープロセスに使用される強力で信頼性の高い露光装置です。深い紫外線と電子ビームリソグラフィの両方の技術で露出することができます。それは電子ビームと水銀ランプ源のユニークな組み合わせを持っています。それは高分解能およびよい焦点の安定性を提供します、それにマイクロエレクトロニクスの適用の広い範囲のための優秀な選択をします。ElectronCure 30Xは、優れた焦点深度（DOF）性能を提供します。DOFは電子ビームおよび水銀ランプによって設計された露出線量の内で露出することができる区域です。ELECTRON VISION ElectronCure 30XのDOF範囲は非常に広いため、電子ビームで0。3 µm、水銀源で0。7 µmまでの範囲の露光が可能です。ElectronCure 30Xのソースフラックスはプログラム可能であり、これにより露光量を高度に制御することができ、露光プロセス中に電子ビームとランプの強度を調整することもできます。また、高度なオートフォーカスオプションを備えており、エリア内の高速スキャンと正確なフォーカスを可能にします。これにより、投影された設計と基板の間の良好なアライメントが保証され、既存および新規アプリケーションの両方に理想的なオプションとなります。このシステムはまた、優れた用量均一性を提供します、つまり、用量は、困難な設計で作業しても均一な方法で調整することができます。また、露出プロセスをより良く制御し、バッチプロセス能力を向上させるためにソフトウェアパッケージを使用しています。これにより、異なる設計リソースと製造現場との間で簡単かつ正確なデータ転送が可能になります。ELECTRON VISION ElectronCure 30Xは、安定した信頼性と堅牢性を備えたユニットで、ユーザーに最高品質の画像を提供します。これは、スムーズな動作、優れた精度と再現性を提供し、既存および新しい出力要件の両方に最適です。解像度と焦点安定性の面では、このマシンは今日利用可能な最も先進的で汎用性の高い露光システムの1つです。これは、単純な1Dライン研削から複雑な3Dパターンまで、ほとんどのリソグラフィ工程に使用できます。