中古 ELECTRON VISION / AMAT / APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 #138799 を販売中

ELECTRON VISION/AMAT/APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11は、AMATによって設計された高度な露光装置で、リソグラフィ/エッチング/ナノ加工アプリケーションで優れた性能を提供します。真空チャンバー、レーザー照明投影ユニット、高速スキャンプラットフォームを備え、プロセスを制御します。AMAT EC-30200-AT11は4インチから8インチ（100mmから200mm）までウェーハの直径の最も広い範囲を支えることができます。このマシンは複数のフォトンレーザーを使用しており、リソグラフィおよびエッチング用途の光強度を正確に制御できます。これらのレーザーは0。25um/1000 ライン/mmまでの分解能の非常に均一な光強度および高い忠実度のイメージを作り出すことができます。このツールを搭載した高速スキャンプラットフォームにより、最大1kHzの速度でフォトリソグラフィープロセスを実行できます。これにより、プロセスのより高い均一性と精度を確保しつつ、スループットを大幅に高速化できます。このアセットは256ゾーン干渉計測モデルも備えており、ウェーハ全体で再現可能な測定と正確な処理を可能にします。ELECTRON VISION EC-30200-AT11は、エッチング性能を向上させるために、特殊ガスと高度な拡散機構のユニークな組み合わせを利用しています。これには、HFベースのガス、フルオロカーボンと酸素の混合物、O2、 CF4、 CHF3、 CF6、 CF2、 CO2などの特殊ガスが含まれます。また、pHレベルを正確に制御する高度な化学注入システムと、ガス混合表面条件をカスタマイズする自動ガス選択ユニットを備えています。APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11は、制御とプロセス監視を提供する高度なオートメーションマシンも備えています。これには、ディスプレイインターフェイスを備えた組み込み制御ツールが含まれており、オペレータはプロセスをリモートで監視および調整できます。また、資産コントローラと他の機器間のデータ転送と交換を容易にするための高速ネットワーク接続も備えています。結論としてEC-30200-AT11は、リソグラフィ、エッチング、ナノ加工アプリケーションで優れた性能を提供するように設計された高度な露光モデルです。この装置は、複数の光子レーザー、高速スキャンプラットフォーム、および様々な特殊ガスおよび化学注入システムを利用することにより、幅広いウエハ径に対して精密かつ反復可能な結果を提供します。高度なオートメーションシステムにより、オペレータはリモート制御およびプロセス監視機能にアクセスできます。