中古 ELECTRON VISION / AMAT / APPLIED MATERIALS 3C-PM #28671 を販売中

ELECTRON VISION/AMAT/APPLIED MATERIALS 3C-PMは、高度な光学リソグラフィ用途をサポートするために設計された露光装置です。高い写真解像度とX-Yステージモーションの低減を可能にします。AMAT 3C-PMは、露光時に精密なアライメントを提供するために設計された重要なアライメントステージと、高精度の光学イメージングユニットで構成されています。ELECTRON VISION 3C-PMは、パターンのサブ分解能アライメントによる非常に高解像度のフィーチャーコントロールと、超高グレードのパフォーマンスのためのダイツダイマスクアライメントをサポートします。このマシンは、ピングリッドアレイ（PGA）ステージの完全に補償された投影とフィールドビューを提供する高度なイメージング顕微鏡を備えています。特徴認識とギャップ調整機能もあります。3C-PMは、最大歩留まり用に最大8インチのダイサイズを備えた高スループットアプリケーションを提供します。コーティング、パターン検査、露出、マスクアライメントなど、すべてのリソグラフィープロセスを制御します。各アプライドマテリアルズ3C-PMツールには、欠陥検査アセットが統合されています。ELECTRON VISION/AMAT/APPLIED MATERIALS 3C-PMは、高い位置精度を保証するオンボードモータ制御を備えています。高精度の真空/圧力クランプモデルを搭載し、ダイサイド間の密着性を確保し、プロセス歩留まりを最大化します。AMAT 3C-PMは、多様な製品要件に対応するために、デュアルサイドイメージングと幅広い露光パラメータを提供する非常に柔軟な機器であるように設計されています。一貫したイメージング条件を維持しながら、フォトマスクを素早く変更できます。このシステムは、各LEDまたはレーザーアレイの強度を個別に制御し、基板表面全体に均一な露出を確保することができます。ELECTRON VISION 3C-PMは、マスクのずれを効率的かつ正確に補正する完全にプログラム可能な光学補正ユニットを備えた多層リソグラフィ用に特別に設計されています。それはまたレーザーエネルギーの高度制御を提供し、動的レーザーの露出制御を許可します。さらに、このマシンには、基板への手動および自動パターン転送のための包括的なアライメントツールが装備されています。3C-PMは、高度な光学リソグラフィーソリューションを提供する費用対効果が高く、信頼性が高く、適応可能な露光資産です。材料コストが低く、信頼性に優れた高解像度で高品質なデバイスパターンのプロセスを簡素化するように設計されています。このモデルにより、製造メーカーはリソグラフィ工程を最大限に制御し、より短時間で高品質のデバイスを製造することができます。