中古 DNS / DAINIPPON EEW-622-8 #138780 を販売中
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DNS/DAINIPPON EEW-622-8は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造を含む高度な研究用途向けに設計された最先端の露光装置です。DNS EEW-622-8は、電子ビーム蒸発技術を利用したダイレクトポジティブトーンイメージング(DPI)技術に基づいて、ウェーハ材料の薄い層を正確かつ正確に露出させます。ダイレクトポジティブトーンイメージングプロセスにより、ユーザーはパターン化された基板上でさまざまなタイプの接点を作成することができます。DAINIPPON EEW-622-8には、高度なスキャンシステムや高度なエミッタ統合など、露出性能を最適化するさまざまな技術が含まれています。スキャンユニットは、電子ビームのサイズ、形状、方向を制御することができ、高倍率と低倍率の両方での露出を可能にします。エミッタ統合技術により、機械は高度に最適化された画像を生成し、パターン解像度とデバイスのパフォーマンスを最大化できます。このツールは、高効率の蒸発源を備えており、露出に必要なエネルギーを提供します。このソースは、露出される層に負の電位を適用することによって動作します。これにより、電子ビームが材料を蒸発させ、デバイスのパターンを形成する荷電イオンのパターンを残します。EEW-622-8はまた、露出資産のパフォーマンスを測定および監視するために使用できる包括的な計測スイートを備えています。この計測スイートは、電子ビームのサイズと形状、ビーム電流、ドリフト、および分解能の測定を可能にします。また、ユーザーは露出したレイヤー内の充電レベルを監視することができます。このモデルはまた、高スループット機能を備えており、露出はほんの数秒で高スループットレートで行われます。この機能により、機器の汎用性が大幅に向上し、ユーザーはさまざまなパターンを迅速かつ効率的に生成することができます。全体的に、DNS/DAINIPPON EEW-622-8は、ユーザーが小型で複雑な基板上で正確なパターンを作成することができる強力な露出システムです。包括的な計測スイート、高スループット機能、高度なエミッタ統合技術により、ユーザーはパフォーマンスを向上させた高品質のデバイスを生産できます。
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