中古 COLIGHT DMVL 1630 #293818181 を販売中

製造業者
COLIGHT
モデル
DMVL 1630
ID: 293818181
ヴィンテージ: 1999
Exposure system Last calibration date: 2026 1999 vintage.
COLIGHT DMVL 1630は、マイクロエレクトロニクス部品の製造のための統合化学およびフォトリソグラフィを提供する露光装置です。このシステムは、半導体業界の最先端アプリケーションに最適な、正確で効果的な露出プロセスを提供します。モジュラー設計により、最も要求の厳しいアプリケーションに幅広いプロセス統合オプションを提供します。COLIGHT DMVL-1630は、表面パターニング用途向けに最大1ミクロンの露光分解能を備えた高精度露光機能を提供します。最新のスキャンオプティクス、スキャンモジュール、パターンジェネレータを搭載し、高解像度露光プロセスを実現しています。さらに、プロセスの自動化と迅速なセットアップを可能にする使いやすいインターフェイスを提供し、生産プロセスの効率を向上させます。さらに、DMVL 1630は、インラインでリアルタイムのパターン検証を可能にする統合マスクレスリソグラフィ(IML)特性評価機能を備えて設計されています。これにより、ユーザーは次のレイヤーを進める前にそれぞれの露出パターンの品質をチェックすることができます。DMVL-1630には、アラームドア、オートフォーカス保護機能、過圧警報など、さまざまな安全機能が内蔵されています。この機械は実験室および生産の環境の両方で使用にとって理想的です。垂直および水平オートメーション、手動操作、および生産性を向上させるための自動ケミカルデリバリーシステムなど、さまざまなオプションが含まれています。さらに、COLIGHT DMVL 1630は、高エントロピー合金、金属、セラミックスなどの幅広い材料と組み合わせることができます。このツールは、マイクロエレクトロニクス部品の製造に使用されるシリコンウェーハ、ガラス、その他の基板など、さまざまな基板とも互換性があります。全体として、COLIGHT DMVL-1630は、マイクロエレクトロニクス部品の製造のための高度な露出とリソグラフィープロセスを提供します。高精度の高分解能露光機能、統合されたIML特性評価機能、組み込みの安全機能により、この資産は製造プロセスの合理化と半導体産業の歩留まり向上に役立ちます。
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