中古 COLIGHT 1230 #293589867 を販売中

COLIGHT 1230は、ウェーハや光学部品の製造において、様々なリソグラフィや加工用途に使用される露出装置です。このシステムは、紫外線（UV）、可視光、X線、深紫外線（DUV）、高真空（HV）などのさまざまな種類の露出を提供することができます。このユニット設計により、幅広い露光が可能となり、半導体、光電子デバイス、MEMS、光学レンズなど、さまざまな部品を迅速かつ正確に製造することができます。1230mm x 1220mmステージを内蔵し、300mmまでのさまざまな基板に対応できます。ステージの運動力学は、エアベアリングとリニア同期モータ（LSM）の両方で構成され、一貫した反復可能なモーションコントロールを提供します。ステージの安定性が高いため、ウェーハ全体に均一な露出が保証されます。このツールは、強力なコントローラとクローズドループのフィードバック資産を使用して、正確なビーム位置決めと露出を実現します。1230は、光学、照明、制御用の独立したモジュールを備えたモジュラーアーキテクチャを備えています。このモジュラー設計はさまざまな光学および照明源の取付けがユーザーの適用条件を満たすことを可能にします。このモデルは、最大4つの露出ヘッドとオプションのロボットハンドラで構成できます。露光ヘッドには、Imbert-Friedrich照明、Spectral Selection、 Fourier Filtering、 Cradle and Step Selection、 On-Axis光学システムなど、さまざまな光学系および光源が含まれており、幅広いリソグラフィおよび処理アプリケーションに適しています。COLIGHT 1230はオペレータの安全を保障するためにいろいろな安全特徴と設計されています。安全インターロック、非常停止ボタン、連結アクセスドア付きバリアガードを備えています。また、ウェハマッピング、ウェハカウント、サブミクロンのアライメントなど、さまざまな計測機能を備えており、露出プロセスを正確に制御できます。このシステムはユーザーフレンドリーで、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、パラメーターの設定と制御が簡単です。1230は、半導体、MEMSデバイス、光学レンズなどの高度な光学部品のビルダーに適した高性能露光ユニットです。迅速かつ正確な露出により、均一で再現性のある結果が得られ、ユーザーは高品質の部品を迅速かつ効率的に製造することができます。