中古 COHERENT Paladin 356 #293652700 を販売中

製造業者
COHERENT
モデル
Paladin 356
ID: 293652700
UV System Chiller.
COHERENT Paladin 356は、マルチソース、マルチモード動作とユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを組み合わせた露出装置です。幅広い産業用途に、包括的でシームレスなソリューションを提供するように設計されています。Paladin 356は、最大8 x 10インチのウェーハサイズを備えています。FEBG (Focus Electron Beam Generator)を使用して設計されており、高度な補正や設計変更に最適なパターンをサポートします。FEBGには2つの独立したソースアクセスがあり、エネルギーやビーム電流などの異なるビームパラメータを使用できます。COHERENT Paladin 356は、高精度で高速なモーションコントロールユニットを備えています。2段階のxyz、ダイレクトドライブモーター、インテリジェントモーター制御機能を含むモーション制御要素のホストが装備されています。パターンの迅速かつ正確な露出と測定を可能にし、スループットと歩留まりを向上させます。Paladin 356には、多くの自動試験および測定機能が装備されています。これには、CCDアレイを備えたイメージングツールと、直接ウェハマッピング用の量子効率(QE)検出器が含まれています。また、このアセットにはオートフォーカス機能が搭載されており、ウェハの厚さに基づいてフォーカス距離を自動調整することができます。このモデルはまた、主要なCADおよびエッチングシステムと統合されており、ユーザーはCOHERENT Paladin 356に統合するための設計データを処理用に迅速かつ効率的に転送することができます。この高度な機能により、少ないハードウェアコンポーネントを使用してより効率的なワークフローを作成できます。さらに、Paladin 356は低い所有コストと運用を提供しています。この機器は、最低限の支出で簡単にサービスされ、維持されるように設計されています。さらに、使いやすいグラフィカルインターフェイスにより、システムの操作に必要なトレーニング時間を短縮できます。全体として、COHERENT Paladin 356は、幅広い産業用途のニーズを効率的に満たすように設計された先進的な露出ユニットです。その直感的なグラフィカルインターフェイス、柔軟な操作、自動化されたテストおよび測定機能は、効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。
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