中古 CHEMCUT 303 #9068989 を販売中

CHEMCUT 303は、接触（正トーン）および非接触（負トーン）フォトリソグラフィ用途向けに開発された最先端の露光装置です。このシステムは、さまざまな先進技術を組み合わせて、露光プロセスの優れた再現性と精度を提供します。このユニットは、多層ビームスプリッタを備えた固定光学系を使用して、画質と均一性に優れ、最大15×15インチの画像サイズを実現します。光学レイアウトにより、オートメーションプラットフォームに簡単に統合できます。この光学系は、低束束のソフトイオン源と、2ビームまたはシングルショットのリソグラフィの露光を可能にする電磁シャッターを備えています。機械はまた正確な電力制御および線量の配分のための調節可能なビームコントローラーを含んでいます。303は露出マスクおよび基質の自動位置そしてオリエンテーションを可能にするデジタルモーションコントローラーおよびステッピングモーターが装備されています。また、露出領域と画像の自動アライメントと位置決めのための洗練されたソフトウェアパッケージも含まれています。このツールは、業界で人気のあるISOおよびJEDEC規格に準拠しているため、複数の基板タイプとサイズに適しています。CHEMCUT 303は、高度な露出プロセスに信頼性の高いソリューションを提供します。このアセットの高度な光学系、高度なコントローラ、および画像品質ソフトウェアは、線パターンと領域構造の信頼性の高い再現を保証します。モーションコントロールを自動化した303は、露出エラーを最小限に抑えながら、幅広いプロセスの柔軟性を実現します。さらに、業界標準のガイドラインとの互換性により、ウェーハパターニングからICパッケージング、MEMS製造まで、さまざまな用途に適しています。