中古 CBT CHUANBAO E2100-5KAC #9361780 を販売中

CBT CHUANBAO E2100-5KACは、精度と信頼性を必要とする半導体デバイス向けに設計された先進的な露光装置です。チップサイズが大きく、非常に詳細な設計を正確に公開することができ、リソグラフ、リソグラフィ・オン・デマンド、半導体エッチングなど、幅広い用途に最適です。赤外線光源、固定スキャンユニット（SU）、エアベアリングスキャンテーブル（ST）、チップステーション（CS）、ゼロレベルツール（ZLS）を備えています。赤外線光源は、最適な露出精度を維持するように設計されている固定SUアセットが設計されている間、適切に基板にデザインを公開するために、所望の強度のために調整することができます。エアベアリングSTは、チップの迅速かつ正確な位置決めとメンテナンスと校正を可能にします。CSモデルは、各STステーションにウェーハを配信するための効率的かつ正確なソリューションを提供します。最後に、ZLSは基板と隣接部分のクロストークを低減し、一貫したプロセス制御を保証するように設計されています。精度を確保するために、E2100-5KACはチップをほぼすべての方向に正確に配置する多軸設計を利用しています。また、基板温度を制御することができ、高速温度や均一な加熱を可能にし、適切な露出を確保します。さらに、このシステムは使いやすく、維持するように設計されており、余分な技術的メンテナンスの必要性を排除しています。ユニットはまた非常に信頼性が高く、一度に何時間も中断しない動作が可能です。全体として、CBT CHUANBAO E2100-5KACは高度で信頼性の高い露出機であり、ユーザーは非常に高速で高精度な設計を確実に行うことができます。精度、信頼性、使いやすさを提供することで、多種多様なアプリケーションに最適です。