中古 BELTRON B3000 #293589857 を販売中
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BELTRON B3000は、半導体製造などのフォトリソグラフィ用途に使用される露光装置です。高精度かつ高精度な画像を基板に投影して露光する高度なイメージングユニットを搭載しています。マシンはステージとコントローラーで構成されています。ステージは、露出中の基板の正確な位置決めを提供する2つの線形ステージで構成されています。さらに、このステージはZ軸補償を提供し、ウェハレベルの一貫したステージ歪みを補正するように設計されています。このツールの主な特徴は、Advanced Lens Asset (ALS)です。このモデルは、高度な画像投影ツールを備えたフォトリソグラフィ市場で最高の解像度を提供します。この装置は、7nmの解像度で、光源を高精度に投影します。また、基板の他の領域に投影された光のクロストークや「出血」を防ぎ、明確で正確な画像を保証します。精密な画像投影システムに加えて、B3000は信頼性とプロセス制御を向上させるための様々な機能を備えています。これらの特徴は、露出前の基板の清浄度を向上させるための独自の2段階の洗浄プロセス、露出時の正確な温度制御のためのChamberTemperatureセンサー、一貫した温度制御のための高効率の冷却ユニットなどです。これらの機能は、正確で高品質の露出結果を保証するのに役立ちます。BELTRON B3000マシンは、強力なソフトウェアスイートも備えています。このスイートには、使いやすいインターフェイスと、さまざまなプロセスパラメータを制御するための機能を備えたデータ分析ツールが含まれています。さらに、正確なイメージング性能のためのキャリブレーションツールも含まれています。全体として、露光ツールB3000業界をリードするイメージング機能、プロセスの正確な制御、強力なソフトウェアツールを提供し、フォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。
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