中古 AXCELIS Microlite #9388038 を販売中

AXCELISマイクロライト露光装置は、リソグラフィープロセスに使用される高度で高精度な装置です。半導体ウェーハの製造と製造に特化して設計されており、多くの場合、集中的かつ詳細な作業が必要です。空中イメージングシステムの精度と再現性とハイエンド光学ユニットを組み合わせ、最高の性能を提供します。マイクロライトは、ステッパー、パターンジェネレータ、ステージ、アラームツール、カメラ、その他の周辺機器を含む多数のコンポーネントをウェーハ上の画像パターンに使用するデジタル露出機です。このアセットは、イメージングモデルに直接取り付けられた高度な線形ステージを利用して、イメージングのための非常に安定したプラットフォームを作成します。ステージは4軸の動きを持ち、2段階のオートメーションで構成されているため、高精度で再現性があります。AXCELIS Microliteは複数のコンポーネントで構成されており、それぞれが協力して最適な露光環境を作り出します。装置の心臓部はパターン発生器であり、高精度・高精度のパターン生成が可能です。ステージはコンパクトで堅牢に設計されているため、ユーザーは大きな表面積を高い精度でカバーできます。さらに、カメラとハイエンドの光学系は、追加の制御と強化されたイメージング機能を提供するために不可欠です。最後に、警報システムは予期しない状況の場合には、ユニットに保護の層を提供します。それは機械部品の状態を監視し、潜在的な問題をオペレータに警告することができ、誤動作や緊急事態を防ぐのに役立ちます。全体的に、マイクロライトツールは、強力なリソグラフィーモデルを作成するために、さまざまなコンポーネントで構成することができ、高度で信頼性の高い露出アセットです。その印象的な精度と精度は、高度な半導体製造に最適です。それは壮大なスケールの正確さそして再現性を提供し、ウェーハの多くの非常に詳細で、複雑なパターンをすぐにそして容易に作り出すのに使用することができます。