中古 AXCELIS / FUSION UV #9145265 を販売中

AXCELIS/FUSION UVは、紫外線（FUSION UV）感光材料を暴露するための先進的な装置です。半導体デバイスやウェーハの製造用に設計されたリソグラフィ機です。AXCELIS UVシステムは、プロジェクションオプティクスを備えたUVランプを使用し、さまざまな露光パターンを提供するレジスト露光ユニットです。ランプのパワーと光強度は、フォトレジストの正確な露出を可能にするために調整可能です。また、反射防止コーティング（ARC）チャンバーを装備し、レジスト面からの反射を低減し、画像の鮮明さを向上させます。機械はまた基質の均一な露出を保障するのに自動化されたステッパー/スキャナを使用します。AXCELIS/FUSION UVツールは、高精度で再現性のある小型パターンから大型パターンまで、幅広いフォトマスクの露光を可能にします。このアセットには、カスタマイズされた露出パターンを基板表面に直接転送できる高度なトポグラフィーマッチャーも装備されています。ステッパー/スキャナは、複数の基板にわたって正確かつ再現可能なパターン転送を保証します。FUSION UVモデルは、さまざまな安全機能を備えています。これには、高強度AXCELIS紫外線による接触から人員を保護するための温度および安全チャンバーが含まれます。安全連結装置は露出された人員が露出区域に入れれば即座にシステムを締めるように設計されています。このユニットには、露光エリアの前面と背面の壁にある人員のアクセスを検出するためのバイオスキャンrも含まれています。UVマシンは、半導体デバイス製造におけるリソグラフィープロセスのための信頼性と汎用性の高い露光ツールです。このアセットは、小さなサイズの画像露出とパターン転送を精度と再現性で提供することができます。AXCELIS/FUSIONの紫外線からの安全性を確保します。この先進的なモデルは、半導体リソグラフィープロセスに効率的、正確、自動化され、信頼性の高いツールを提供します。