中古 AXCELIS / FUSION UV LC-6B #9061093 を販売中

AXCELIS/FUSION UV LC-6Bは、FUSIONの最新鋭のフル機能露光装置です。このシステムは、スループットと歩留まりを最大化するために、精密紫外線（UV）リソグラフィ露光を提供するように設計されています。このユニットは、モジュラー性が高く拡張性が高いため、中規模から大容量生産環境に特に適しています。FUSION UV LC-6Bは、高度なセットアップとアライメントオプションを備えており、マスク間のアライメントの優れた削減と精度を提供します。これにより、正確な露出座標が保証され、より高い歩留まり率が保証されます。この機械は高度に自動化されており、オペレータの関与を最小限に抑えることができ、正確な露出配置のための精密なステージドライブが装備されています。チャンバーサイズはカスタマイズ可能で、直径200mmまでの基板に対応できます。このツールは、精密な露光制御のための高度な光学性能を提供します。その紫外線調節可能な開きは均一な照明の強度および再生可能な結果を保障します。非常に高度なリフレクター技術は、優れたスナップインの利便性を促進し、ミスアライメントを排除し、変更時間を短縮します。高度なビームスキャンヘッドとオートレフォーカスオプティクスにより、焦点深度のフィールド変動を低減し、セットアップの最適化を最小限に抑えます。AXCELIS UV LC-6Bは、最大25 mJ/cm2の被曝線量に達することができ、優れた解像度を保証します。アセットの高度なバッチモード処理は、大規模なスループット状況に適しており、さまざまな基板または露出線量要件に対応するようにカスタム設定することができます。高度なインラインプロセス制御により、ウェーハ間の再現性を最大限に高め、特許取得済みの非接触基板および中間ホルダーにより汚染を防ぎます。UV LC-6Bは、MultiFabやTemptronic NxStepライブラリなど、さまざまなオートメーションライブラリで動作するように設計されています。それはパターニングのための信頼できる、費用効果が大きい解決で、一貫した結果のために頼ることができます。AXCELIS/FUSION UV LC-6Bは、高度なイメージングテクノロジーと強力なモデルソフトウェアを備え、中規模から大規模生産に最適な露光ソリューションです。