中古 AXCELIS / FUSION UV-150PC #9144789 を販売中

AXCELIS/FUSION UV-150PCは、高度なデバイス製造のための効率的なフォトリソグラフィープロセスを提供するために設計された露出装置です。FUSION UV-150PCは、高度なイメージング技術を統合し、フォトマスク製造、半導体、およびその他の関連プロセスの品質と生産性を確保することができます。露出システムは、高度な自由形状フォトマスクパターニングの要件を満たす幅広いプロセスウィンドウで信頼性の高い露出能力を提供するように設計されています。次世代フォトマスクの開発や、解像度強化技術（RET）やハードマスク露出などのアプリケーションに最適なユニットです。AXCELIS UV-150PCは、生産性と歩留まりを向上させる機能の組み合わせを提供します。オートフォーカスマシンは、基板の地形の違いを自動的に補償し、露光ツールの精度と再現性を向上させます。そのオートフォーカス技術は、露出フェーズ中の小さな欠陥に対処するために露出データをデジタルで再マッピングすることができます。さらに、その高度なイメージング技術は、高速露光率と均一性を提供します。UV-150PCには熱管理アセットも統合されています。温度制御モデルを内蔵し、露光装置はクリッピングなしで一貫したフォトマスクパターンを保証します。さらに、最先端の光学システムは、最適なスペクトル均一性を提供し、露光プロセス全体の露光精度に優れた並列性を提供します。最後に、その改善された真空アーキテクチャは、安定したイメージングを保証し、優れた画像保持を提供します。AXCELIS/FUSION UV-150PCは、材料使用量を最小限に抑えるように設計されており、最適化されたグリッド技術により粒子発生を低減します。また、スキャン速度を最大化し、フォトマスクのアーティファクトを最小限に抑える設定可能なスキャンユニットを備えています。さらに、完全に設定可能なオートトラックマシンにより、アプリケーションの要件に応じてフォーカスと線量パラメータを正確に調整できます。FUSION UV-150PCは、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに優れた生産性、精度、効率を提供する高度な露出ツールです。高度なイメージングアセットにより、幅広い用途において高精度かつ高精度な露光が保証され、材料の廃棄物を最小限に抑え、歩留まりを向上させることができます。その洗練された内蔵温度制御モデルは、優れた画質を提供することができ、その革新的な真空アーキテクチャは、最適な安定性と画像保持を保証します。最後に、高速スキャン機能とオートトラック装置により、高いスループットと再現性のある結果が得られます。