中古 AXCELIS / FUSION UV-150PC #9134022 を販売中

AXCELIS/FUSION UV-150PC露光装置は、幅広い基板に均一な露光を提供するように設計された広域照射システムです。これには、ガラス、ポリマー、シリコーン、またはUVスペクトル範囲で光分解を受けることができる他の材料などが含まれます。FUSION UV-150PCは、信頼性、寿命、プロセスの柔軟性を念頭に置いて構築されており、これを確実にするために、確立されたメーカーのコンポーネントを使用しています。この露出ユニットは、さまざまな材料や基板が紫外線にさらされているプロセスに適しています。AXCELIS UV-150PCは高度なパネル軸設計を採用しており、傾きや干渉を最小限に抑えながら、マスクパターン付きガラスなどの大型および/または透過可能な行列に一貫した露出を可能にします。露出機には、ルーヴルターゲット上のボードの正確なアライメントを可能にする、強化されたレーザー誘導補正ツールが付属しています。総エネルギー範囲は5〜650 J/m2で、大きな精密窓は± 2。5％です。これにより、あらゆる種類の材料の信頼性の高い処理と、フィールド全体の高い均一性を可能にします。スロット付き排気モデルは、光学プロセスに対するファンドラグの影響を低減するために設計されていますが、オンボードのUVセンサーは、一貫性を維持するために光源の強度を常に監視します。また、不正アクセスを防止するタンパー耐性フロントパネルなど、幅広い安全機能を備えています。また、自己診断モードも備えており、システムの誤動作を迅速かつ簡単に識別することができます。さらに、LEDパワーとヒューズインジケータにより、ユニットの全体的なパフォーマンスを簡単に理解できます。最後に、UV-150PCは容易な維持のために設計され、機械に入るかもしれない有害な粒子を捕獲するための粒子フィルターと来ます。このフィルターは専門にされた用具のための必要性なしですぐにそして容易に取り替えることができます。この機能により、AXCELIS/FUSION UV-150PCは厳格な環境規制を持つ企業にとって素晴らしい選択肢となります。