中古 AXCELIS / FUSION Summit XT #9352620 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
AXCELIS/FUSION Summit XTは、非常に正確で正確なフォトマスク作成機能を提供するように設計された包括的で堅牢な露出装置です。FUSION Summit XTは、248nm （KrF）から405nm （UV）までのさまざまなメディアと波長を使用して、幅広いフォトマスクを露出することができます。石英からガラス、金属まで様々な媒体の加工が可能です。このシステムは、露出したフォトマスクの最高品質と精度を確保するために、6面、完全に囲まれた、振動分離された環境を備えています。高速処理機能により、最も要求の厳しいフォトマスク用途に適しています。特許取得済みのウェーハおよびフォトマスクのスキャンユニットは、フォトマスク全体にわたって非常に均一な露出を可能にし、高価でエネルギーを消費する再配置の必要性を減らします。AXCELIS Summit XTは、目視検査システム、顕微鏡、レーザー測定システムなど、さまざまな精密フォトマスク検査システムをサポートしています。これにより、露光プロセスの精度に影響を与える可能性のあるフォトマスクのエッジやその他の重要な機能の詳細な検査が可能になります。さらに、露出の変化を監視し、マシンのパフォーマンスを検証するための露出計測ツールのスイートも用意されています。Summit XTは、非常に高解像度のパターンを処理し、高精度で露出をサポートするように設計されています。業界をリードするアライメント精度は、優れたオーバーレイ性能をもたらし、フォトマスク製造プロセスの歩留まりを向上させることができます。このツールは、サブミクロン性能を含む幅広い解像度フォーマットをサポートしており、その高い露出均一性は生産性を向上させ、スクラップと再作業コストを削減することができます。AXCELIS/FUSION Summit XTは、あらゆるフォトマスクアプリケーションのニーズに対応するさまざまな構成を提供します。その柔軟性は、変化する市場およびプロセス要件を満たすためにプロセスを迅速に調整する必要がある顧客に利益をもたらすように設計されています。FUSION Summit XTは、最高のパフォーマンスを保証するために、広範なリモートサービスネットワークによってサポートされています。また、業界で最も包括的な保守および診断機能を備えており、あらゆる場所から重要なモデル情報にアクセスして、より迅速かつ効率的な診断と応答を実現します。この機器は使いやすく、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは機能や機能にすばやくアクセスできます。さらに、AXCELIS Summit XTをお客様の正確なニーズに合わせてカスタマイズするために、さまざまなオプションとアップグレードが用意されています。
まだレビューはありません