中古 AXCELIS / FUSION Summit XT #9235774 を販売中

AXCELIS/FUSION Summit XTは、半導体業界の特殊なニーズに対応するために設計された先進的な露光装置です。このシステムは、最高の解像度とオーバーレイ精度で、最も要求の厳しいマイクロストラクチャーとデバイス機能の生産を可能にします。超高スループットプラズマソースを搭載し、イオン注入速度を最大800nm/minまで高速化し、最高レベルの解像度と精度を実現する比類のないイメージングユニットを備えています。FUSION Summit XTは、バルクシリコンウェーハから超薄型ナノレイヤーを含むSynGap™ウェーハまで、幅広い基板を露出することができます。このマシンには、高度な独自の画像解析および強化ソフトウェアが含まれており、基板平面性の最高レベルを確保しながら、非常に小さなフィーチャーサイズのメンテナンスを可能にします。また、高度な高速ステージオートメーションツールを備えており、高い再現性を備えているため、精度を犠牲にすることなく、製造モデルの変更にすばやく適応できます。この資産は、ガス供給モデルやオプションのプラズマ励起源など、追加のクラスタとモジュールを追加することでさらに強化することができます。AXCELIS Summit XTは直感的でユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを備えており、簡単で効率的なレシピ開発、操作、および機器監視を可能にします。また、レシピ設定とシステムログデータを保存できる統合ハードドライブもあります。さらに、このユニットには機械制御プロセッサが組み込まれており、自動化された制御とリアルタイムのツール監視が可能です。この機械は24/7生産環境で使用するために造られ、高いレベルの信頼性および堅牢性を提供します。特殊な空調アセットを使用して必要な温度と湿度を維持し、敏感な機器には環境的にもESDにも準拠しています。Summit XTは、大量の半導体製造に最適なソリューションです。このモデルは、高速イメージング解像度と最先端の基板処理機能を備えており、あらゆる最先端のウェーハ製造設備に欠かせません。