中古 AXCELIS / FUSION Summit XT #9189027 を販売中

AXCELIS/FUSION Summit XTは、半導体製造で使用される商業用リソグラフィープロセス用に設計された先進露光装置です。イメージングのスループットと高精度層定義に最適化された精密モータアクチュエータによって駆動される完全に自動化された3軸システムです。100ワットのレーザー照明投影装置を備えた先進的な光学ユニットと、大量生産と少量生産の両方に対応できるモーター付きマスクアライナーを備えています。FUSION Summit XTは、高度な光学系を利用して、大量の結晶フォトリソグラフィープロセスを最大化するように設計されています。モジュラーアーキテクチャにより、幅広い露光モードを備えた既存の生産インフラストラクチャに統合できます。このマシンには、ツールのパフォーマンスを最適化し、信頼性の高い一貫した動作を保証する高度なソフトウェア制御システムが装備されています。それは高精度および正確さの非常に複雑なパターンを作り出すのに使用することができます。AXCELIS Summit XTの光学アセットを使用すると、露出面積を最小0。1 umから最大50 umまで変化させながら、正と負の両方の露出層を露出することができます。プロジェクションイメージングにより、高解像度の画像をキャプチャすることができ、フォトマスクからウェーハへの高品質な画像転送が可能となり、印刷サイクル時間が短縮されます。さらに、モジュール式およびカスタマイズされたハードウェアと自動化されたプロセス機能を組み合わせることで、複数のウェーハプロセスを同一の実行で実現し、生産効率を最大限に高めます。この機能により、ウェーハのさまざまなレイヤーのプロセスを事前にプログラムし、オペレータの介入や再プログラムなしで自動化することができます。Summit XTの統合ソフトウェアプラットフォームには、プロセス制御、有効線量マッピング、ウェーハアライメント、フォーカス制御、バーコード認識、スクリプト編集、画像キャプチャなどのプロセス制御およびパフォーマンス最適化ツールが含まれます。このソフトウェアは、モデルパフォーマンスと製造歩留まりを最適化するために、関連する幅広い外部リソグラフィーツールとインタフェースします。AXCELIS/FUSION Summit XTには、人員と機器を保護するための幅広い安全機能と、優れたイメージング条件を確保するための高度な環境制御システムも含まれています。このユニットは、さまざまな顧客ニーズに合わせてカスタマイズすることができ、グローバルサービスとサポートに裏打ちされています。要するに、FUSION Summit XTは、大量の製品製造プロセスに適した高度で自動化された露出機です。高度な光学ツールを備え、特定の産業ニーズに合わせてカスタマイズ可能で、堅牢なソフトウェアプラットフォームを備えています。この資産は、人員の安全と環境管理を確保しながら、プロセスのパフォーマンスと製造歩留まりを最適化するように設計されています。