中古 AXCELIS / FUSION Summit XT #293627840 を販売中

AXCELIS/FUSION Summit XTは、リソグラフィ用に設計された先進露光装置です。高度なメモリやロジック集積回路の製造、その他の高精度リソグラフィープロセスなどのアプリケーションに最適です。このシステムは最大限の効率と柔軟性を目指して設計されており、ユーザーは特定のデバイスまたはプラットフォームのプロセスを最適化することができます。このユニットは、マルチチャンネル、最上位、4kWxtal光学製品を備えています。これにより、複数の波長と偏光角度にわたって高度な性能を発揮します。また、トータルスキャン制御と高度な自動露出制御を備えているため、ウェーハの断面と露出を正確かつ正確に制御できます。このツールは、アライメントとソースのキャリブレーション機能も自動化されており、プロセス制御ソフトウェアと統合されているため、資産パフォーマンスを最適化し、スループット時間を短縮できます。FUSION Summit XTは、特許取得済みのエアベアリングステージと自動ロードポートを備えた統合モデルです。高精度でスムーズなステージ動作と高いスループットと再現性を実現します。また、チャンバーあたり最大8つの基板、2つのアクティブ基板、露出あたり最大128ステップ、+-15ウェーハエッジバイアスなど、複数の基板構成を備えています。これにより、シングルレイヤーからマルチレイヤー処理アプリケーションまで、幅広いユーザー要件に効果的に対応できます。AXCELIS Summit XTは、幅広い機能と操作を提供する包括的なソフトウェアパッケージを備えています。これには、包括的なプロセス制御、システムメンテナンス、データ管理など、多数のセキュリティ機能が含まれます。このパッケージの一部として、ユニットは、機械の操作を簡素化し、合理化するための高度なツールの配列が含まれています。これらには、シンプルな基板プログラミングとキャリブレーション、迅速なセットアップとジョブデータへのアクセス、ラインバイラインマッピングによる完全なウェハデータストレージ、自動化されたプロセス追跡と制御などが含まれます。全体として、Summit XTの高度な露出ツールは、プロトタイピングと生産処理の両方のニーズに優れたパフォーマンスと機能を提供します。高度な光学系と統合ソフトウェアにより、ユーザーは目的の最終用途に合わせてプロセスをカスタマイズできます。さらに、包括的なセキュリティ機能により、データを保護し、ユーザープロセスを最適化して最大限の効率を実現します。